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ZEISS ULTRA plus - Breakthrough em Ultra-High-Resolution Imaging da não-condutor Amostras

Published on August 8, 2007 at 11:32 AM

Carl Zeiss SMT apresenta em Microscopia e Análise de 2.007 recém-desenvolvido a sua "ULTRA plus" Microscópio Eletrônico de Varredura (MEV), com tecnologia exclusiva de compensação de carga de não-condutor amostras. Pela primeira vez, de alta resolução estável e livre de ruídos de imagens a partir de amostras, tais como cerâmicas, polímeros, fibras ópticas e muito mais pode ser obtida mesmo com tensão alta aceleração e sonda de alta corrente. Este avanço tecnológico foi desenvolvido especificamente para satisfazer demanda crescente de clientes em pesquisa analítica, desenvolvimento e teste de materiais avançados. Para efeitos de neutralização de carga, um sistema de injecção de gás de propriedade permite que uma aplicação local para lavar de um gás inerte. Assim, a carga eletrostática das amostras é neutralizado e detecção de elétrons secundários (SE), bem como de elétrons retroespalhados (BSE) torna-se viável. Inúmeras aplicações em ciências da vida, análise de materiais e semicondutores serão beneficiados com esse desenvolvimento.

Sistema de detecção de mais completo em ULTRA

Usando o novo sistema de injeção de gás-proprietários, tanto o uso da lente única no detector SE, bem como a in-lente ESB detector (Energia seletiva retroespalhados) da indústria comprovada ZEISS ULTRA-campo de emissão SEM torna-se possível. Assim, pela primeira vez, não-condutor amostras podem ser investigadas no ULTRA não só em condições de baixa tensão de imagem, mas também em alta tensão e sonda de alta atual para usar todas as funcionalidades dos principais recursos de microscópio ULTRA. Juntamente com o ASB detector (Angle retroespalhados seletiva) para baixo ângulo de elétrons retroespalhados revelando contraste orientação, bem como a câmara montada detector Thornley Everhart para o contraste topográfico, o mais ULTRA oferece um sistema de detecção completa para todos os aplicativos do condutor, bem como não condutor amostras.

Grande variedade de configurações específicas dos clientes

Para atender às demandas dos vários clientes, o novo e exclusivo sistema mais ULTRA pode ser adaptado a uma grande variedade de especificações do sistema. Não há, opcionalmente, um bloqueio de 80 milímetros de carga disponível com uma bomba de tempo de apenas 30 segundos. Também disponível será um super-6-eixos eucentric estágio motorizado com uma repetibilidade localização de 1 Hm. Um recurso muito útil do sistema é uma mudança feixe 100μm, o que permite a investigação de um campo bastante grande de vista sem mover a amostra mecanicamente. O modo OptiProbe permite um ajuste contínuo da corrente do feixe de 12 a 40 pA nA. Além disso, o modo de chamada silenciosa permite desligar o prepump vácuo, permitindo até 40% de economia no consumo de energia.

O sistema mais ULTRA estará disponível a partir de outubro de 2007.

Last Update: 4. October 2011 19:34

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