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蔡司超加 - 突破非導電樣品的超高分辨率成像

Published on August 8, 2007 at 11:32 AM

卡爾蔡司SMT提出了獨特的技術負責賠償非導電樣品在顯微鏡及分析2007年新開發的“超加”掃描電子顯微鏡(SEM)。對於首次,分辨率高,穩定,無噪聲的圖像,如陶瓷,聚合物,光纖和多樣品可以得到,即使在高加速電壓和高電流探頭。這種技術進步是專門為滿足客戶的需求增加,在先進材料的分析研究,開發和測試。電荷中和的目的,一個專有的氣體噴射系統,使惰性氣體沖洗本地應用程序。從而,樣品的靜電被中和二次電子(SE),以及背散射電子(BSE)的檢測變得可行。在生命科學,材料分析和半導體許多應用將受益於這方面的發展。

超加上齊全的檢測系統

使用新的專有氣體噴射系統,同時使用獨特的鏡頭東南探測器以及在鏡頭 ESB探測器業界公認的蔡司超場發射掃描電鏡(能源選擇性背散射)成為可能。從而首次非導電樣品可以進行調查,不僅在超低壓成像條件下,而且在高電壓和高電流探頭使用的領先的超顯微鏡能力的全部功能。與 ASB(角度選擇性背散射)為低角度揭示方向對比度以及會議廳安裝埃弗哈特索恩利地形對比探測器背散射電子探測器,超加提供一個完整的檢測系統,所有的應用程序以及非導電導電樣品。

各種各樣的客戶的具體配置

為了滿足不同客戶的需求,新的和獨特的超加系統可以適應各種各樣的系統規格。選擇性地,有一個 80毫米的一個短短30秒的泵的時間,負載鎖。也可將 6軸超eucentric機動階段為1μm的位置重複性。一個非常有用的系統功能是100μm的光束的轉變,這使得無需移動樣品機械的一個相當大的領域來看的調查。 OptiProbe模式使束電流從 12 pA的40 nA的不斷調整。此外,所謂的安靜模式使關掉真空prepump,使功耗節省 40%。

超加系統將於 2007年10月。

Last Update: 3. October 2011 18:26

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