Tegal Corporation, ein führender Designer und Hersteller der Plasmaätzung und der Absetzungsanlagen verwendet in der Produktion von integrierten Schaltungen, MEMS und Nanotechnologieeinheiten, heute angekündigt, dass sie eine Ordnung für eine Stapel-Ätzungsanlage Tegal 915 von einem führenden Japanischen Fühler- und Kontrollsystemhersteller empfangen hat. Die neue Anlage Tegal 915 wird für Fotoresiststreifenanwendungen in der Mikroschalter-Fälschungszeile die 200mm des Abnehmers verwendet.
„Wir sind erfreut, dass Noah Corporation, unser neu-festgesetzter Japanischer Vertreter, diesen neuen Anlagenverkauf mit 900 Serien für uns in Japan geschlossen hat. Noah hat ausgezeichnete technische Halterung Tegals Japanischen Abnehmern für einige Monate bereits gewährt, und wir erwarten zusätzliche Verkäufe unserer Plasmaätzung und PVD-Hilfsmittel in Japan bald,“ sagte Vahan Tchakerian, Tegals Vizepräsident von Globalen Verkäufen.
Das Tegal 915 ist eins einer Reihe Dioden- und Stapelplasmaätzungsanlagen, die durch Tegal produziert werden, des Industriepioniers in der Handels-einzelWafer Plasmaradierung. Über 1.500 Anlagen in der 900 Serie sind bis jetzt versendet worden und zuverlässige und kosteneffektive Halterung für eine große Auswahl von Plasmaätzungsprozessen gewährt. Tegal 915 und Plasmaätzungshilfsmittel der Serie 900ACS werden für das Fotoresistentfernen, Solar„Münzenstapel“ Radierung und Auflage, nullschicht, descum, nicht selectives Nitrid, Rückseite und planarization Radierung, für HB-LED, MEMS, Starkstromgerät und Optoelektronische Einheitsfälschung optimiert. Die 915 und die Plattformen der Serie 900ACS können 75mm bis 200mm anpassen die Runden-, quadratische oder rechteckigesubstratflächen.