Tegal Corporation , un diseñador y fabricante líder de sistemas de grabado de plasma y la deposición utilizado en la producción de circuitos integrados, MEMS, y los dispositivos de la nanotecnología, ha anunciado hoy que ha recibido un pedido para un sistema de lotes Tegal 915 de grabado de un sensor de líderes japoneses y control sistema de decisiones. El nuevo sistema de Tegal 915 se utilizará para aplicaciones de banda de 200 mm fotosensible en la línea del cliente micro-fabricación.
"Estamos encantados de que Noé Corporation, nuestro representante recientemente designado japonés, ha cerrado este nuevo sistema de venta de la serie 900 de nosotros en Japón. Noé ha proporcionado un excelente soporte técnico a los clientes japoneses Tegal por varios meses ya, y esperamos que las ventas adicionales tanto de nuestros grabado de plasma y las herramientas de PVD en Japón pronto ", dijo Vahan Tchakerian, Presidente Tegal Vicepresidente de Ventas Globales.
El Tegal 915 es uno de una serie de sistemas de diodos y lote grabado de plasma producido por Tegal, el pionero de la industria en el grabado de plasma comercial única oblea. Más de 1.500 sistemas de la serie 900 han sido entregadas hasta la fecha, la prestación de apoyo fiable y rentable para una amplia gama de procesos de grabado de plasma. Tegal 915 y 900ACS serie de herramientas grabado de plasma están optimizados para despojar fotosensible, la energía solar "pila de monedas", grabado, y la almohadilla, cero capa, descum, el nitruro de no selectivos, hacia atrás, y el grabado planarization, de HB-LED, MEMS, Dispositivo de alimentación, y fabricación de dispositivos optoelectrónicos. Las plataformas de la Serie 915 y 900ACS puede acomodar 75 mm a 200 mm ronda, soportes cuadrados o rectangulares.