Tegal Corporation , un important concepteur et fabricant de systèmes de gravure par plasma et le dépôt utilisées dans la production de circuits intégrés, les MEMS, les nanotechnologies et les appareils, a annoncé aujourd'hui qu'elle a reçu une commande pour un système de lots Tegal 915 etch partir d'un capteur japonais de premier plan et le contrôle fabricant de système. La nouvelle 915 Tegal système sera utilisé pour des applications en ligne la bande photorésine 200mm du client micro fabrication.
«Nous sommes heureux que Noé Corporation, notre représentant nommé récemment japonais, a clôturé cette nouvelle 900 à vendre système de la série pour nous au Japon. Noah a fourni un excellent support technique aux clients japonais Tegal pour plusieurs mois déjà, et nous nous attendons à des ventes additionnelles de nos deux gravure par plasma et les outils PVD au Japon bientôt ", a déclaré Vahan Tchakerian, vice-président Tegal des ventes mondiales.
Le Tegal 915 fait partie d'une série de systèmes plasma diode et lots etch produite par Tegal, le pionnier de l'industrie dans la gravure plasma commerciale unique galette. Plus de 1.500 systèmes dans la série 900 ont été livrées à ce jour, apportant un soutien fiable et rentable pour un large éventail de procédés de gravure par plasma. Tegal 915 et 900ACS série d'outils de gravure par plasma sont optimisés pour photorésine décapage, l'énergie solaire "pile de pièces" gravure, et le pad, nulle couche, descum, non sélective du nitrure, un backside, et la gravure de planarisation, pour HB-LED, MEMS, Périphérique d'alimentation, et de fabrication de dispositifs optoélectroniques. Les plates-formes 915 et 900ACS série peut accueillir 75mm à 200mm rondes, carrées ou rectangulaires substrats.