Tegal 주식 회사 , 집적 회로, MEMS 및 나노 장치의 제조에 사용되는 플라즈마 식각 및 증착 시스템의 선도적인 디자이너와 제조 업체는 오늘 그것이 최고의 일본어 센서와 컨트롤에서 Tegal 915 일괄 에칭 시스템에 대한 주문을 접수했다고 발표했다 시스템 제조 업체. 새로운 Tegal 915 시스템은 고객의 200mm 마이크로 제조 라인에서 포토 레지스트 스트립 어플 리케이션에 사용됩니다.
"우리는 노아 주식 회사, 우리의 최근 임명 일본어 담당자가 일본에서 우리를 위해이 새로운 900 시리즈 시스템의 판매를 폐쇄했다고 기쁘게 생각합니다. 노아는 이미 몇 달 동안 Tegal의 일본 고객에게 우수한 기술 지원을 제공하고 있으며, 곧 일본에서 우리의 에칭 플라즈마 및 PVD 도구 모두의 추가 매출을 기대하고, "Vahan Tchakerian, 글로벌 영업의 Tegal의 부사장 말했다.
Tegal 915은 Tegal, 상업 단일 웨이퍼 플라즈마 에칭에 업계의 선구자에 의해 만들어진 다이오드 및 배치 플라즈마 에칭 시스템의 일련의 하나입니다. 900 시리즈 1500 이상의 시스템은 플라즈마 식각 공정의 광범위한 안정적이고 비용 효율적인 지원을 제공 날짜 배송되었습니다. Tegal 915 및 900ACS 시리즈 플라즈마 에칭 도구는 HB - LED, MEMS, 전원 장치에 대한, 포토 레지스트 스트립, 태양 "동전 스택"에칭하고, 패드, 제로 레이어, descum, 비 선택적 질화, 배면 및 평탄화 에칭에 최적화된 그리고 광전자 장치 제조. 915과 900ACS 시리즈 플랫폼은 200mm 원형, 정사각형 또는 직사각형 기판에 75mm 수용할 수 있습니다.