Bedrijf van Tegal, een belangrijke die ontwerper en een fabrikant van plasma etsen en depositosystemen in de productie van geïntegreerde schakelingen, MEMS worden gebruikt, en de nanotechnologieapparaten, kondigden vandaag aan dat het een orde voor een Tegal heeft ontvangen 915 partij systeem van een belangrijke Japanse sensor en controlesysteemmaker etst. Nieuwe Tegal 915 systeem zal voor photoresist strooktoepassingen in de lijn van de het microcontactvervaardiging van klant worden gebruikt 200mm.
„Wij zijn pleased dat Noah Corporation, onze onlangs-benoemde Japanse vertegenwoordiger, deze nieuwe het systeemverkoop van 900 Reeksen voor ons in Japan heeft gesloten. Noah heeft uitstekende technische steun aan de Japanse klanten van Tegal voor verscheidene maanden reeds verleend, en wij denken de extra verkoop van zowel ons plasma als hulpmiddelen PVD spoedig in Japan,“ bovengenoemde Vahan Tchakerian, de Ondervoorzitter van Tegal van Globale Verkoop etst.
Tegal 915 is één van een reeks van diode en die het partijplasma etst systemen door Tegal, de de industriepionier worden veroorzaakt in commercieel enig-wafeltjeplasma ets. Meer Dan 1.500 systemen in de 900 Reeksen zijn tot op heden verscheept, verlenend betrouwbare en rendabele steun voor een brede waaier van plasma ets processen. Tegal 915 en het plasma van de Reeks 900ACS etsen hulpmiddelen worden geoptimaliseerd voor photoresist het ontdoen van, zonne „muntstukstapel“ ets, en stootkussen, nul laag, descum, niet-selectief nitride, achtereind, en planarization ets, voor hb-GELEID, MEMS, het Apparaat van de Macht, en Optoelectronic apparatenvervaardiging. De 915 en platforms van de Reeks 900ACS kunnen 75mm tot 200mm ronde, vierkante of rechthoekige substraten aanpassen.