Tegal корпорация , ведущий разработчик и производитель плазменного травления и осаждения систем, используемых в производстве интегральных схем, MEMS и нанотехнологии устройств, объявила, что она получила заказ на 915 Tegal партии травления системы от ведущих японских датчика и контроля Система мейкера. Новые Tegal 915 Система будет использоваться для фоторезиста приложений полосу в 200 мм линию заказчика микровыключатель изготовления.
"Мы рады, что Ной корпорации, наши недавно назначенный представитель Японии, закрыл эту новую 900 Series системы продажи для нас в Японии. Ной был обеспечивая превосходную техническую поддержку Tegal в японских покупателей уже несколько месяцев, и мы ожидаем дополнительных продаж обеих наших плазменного травления и PVD инструментов в Японии в ближайшее время, "сказал Ваан Tchakerian, вице-президент по Tegal по глобальным продажам.
Tegal 915 является одним из серии диодов и пакетного плазменного травления систем производства Tegal, пионером в коммерческом одной пластины плазменного травления. Более 1500 систем в серии 900 были отправлены на сегодняшний день, обеспечивая надежную и экономически эффективную поддержку широкого спектра процессов плазменного травления. Tegal 915 и 900ACS серии плазменного травления инструментов, оптимизированных для фоторезиста зачистки, солнечные "монеты стека" травления и площадки, нулевой слой, Descum, неизбирательной нитрида зад, и планаризации травления, для HB-LED, MEMS, блока питания, и оптоэлектронной устройства производства. 915 и 900ACS серии платформ могут разместиться 75 мм до 200 мм круглые, квадратные или прямоугольные подложки.