Tegal Corporation、一位主设计师和制造商用于集成电路， MEMS 的生产和证言系统的等离子铭刻和纳米技术设备，今天宣布它从一个主导的日本传感器和控制系统制造商收到了 Tegal 915 批铭刻系统的一份订单。 新的 Tegal 915 系统为光致抗蚀剂主街上应用将使用在客户的 200mm 微型开关制造线路。
“我们是喜悦的 Noah Corporation，我们最近任命的日本代表，在日本结束了我们的此新的 900 系列系统销售额。 诺亚已经提供非常好的技术支持给 Tegal 的日本客户几个月，并且我们期待我们的等离子铭刻另外的销售额，并且 PVD 工具在日本很快”， Tegal 的副总统说 Vahan Tchakerian，全球销售额。
Tegal 915 是 Tegal 导致的其中一个一系列的二极管和批等离子铭刻系统，在商业单一薄酥饼等离子蚀刻的行业先驱。 1,500 个系统在 900 系列中迄今被发运了，提供可靠和有效技术支持为各种各样的等离子铭刻进程。 Tegal 915 和 900ACS 串联等离子铭刻工具为光致抗蚀剂剥离被优选，太阳 “硬币栈”蚀刻和填充、零的层、 descum、无选择性的氮化物、后侧方和 planarization 蚀刻， HB-LED、 MEMS、功率设备和光电子设备制造的。 915 和 900ACS 串联平台可能适应 75mm 到 200mm 圆，方或者长方形基体。