Tegal Corporation、一位主設計師和製造商用於集成電路， MEMS 的生產和證言系統的等離子銘刻和納米技術設備，今天宣佈它從一個主導的日本傳感器和控制系統製造商收到了 Tegal 915 批銘刻系統的一份訂單。 新的 Tegal 915 系統為光致抗蝕劑主街上應用將使用在客戶的 200mm 微型開關製造線路。
「我們是喜悅的 Noah Corporation，我們最近任命的日本代表，在日本結束了我們的此新的 900 系列系統銷售額。 諾亞已經提供非常好的技術支持給 Tegal 的日本客戶幾個月，并且我們期待我們的等離子銘刻另外的銷售額，并且 PVD 工具在日本很快」， Tegal 的副總統說 Vahan Tchakerian，全球銷售額。
Tegal 915 是 Tegal 導致的其中一個一系列的二極管和批等離子銘刻系統，在商業單一薄酥餅等離子蝕刻的行業先驅。 1,500 個系統在 900 系列中迄今被發運了，提供可靠和有效技術支持為各種各樣的等離子銘刻進程。 Tegal 915 和 900ACS 串聯等離子銘刻工具為光致抗蝕劑剝離被優選，太陽 「硬幣棧」蝕刻和填充、零的層、 descum、無選擇性的氮化物、後側方和 planarization 蝕刻， HB-LED、 MEMS、功率設備和光電子設備製造的。 915 和 900ACS 串聯平臺可能適應 75mm 到 200mm 圓，方或者長方形基體。