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Medición de la Alta Exactitud del Espesor Del Film, Del Índice De Refracción y de la Reflectividad de Películas Finas y de Pilas De Múltiples Capas De Horiba Jobin Yvon

Published on August 22, 2007 at 10:43 PM

Horiba Jobin Yvon ha ampliado la capacidad de funcionamiento del ellipsometer con modulación de fase espectroscópico de UVISEL con la integración del reflectómetro Espectroscópico del VIP DUV. La combinación del ellipsometer y del reflectómetro de la alta precisión que miden en la misma posición de la muestra permite la caracterización de las características tan pequeñas como 10 micrones.

Ellipsometer con modulación de fase espectroscópico de UVISEL integrado con el reflectómetro Espectroscópico del VIP DUV

Las Aplicaciones del UVISEL VIP incluyen la medición del espesor del film, del Índice de refracción y de la reflectividad de películas finas y de pilas de múltiples capas con exactitud muy alta.

Por la adición de una área extensa que correlaciona escenarios de la dimensión 200m m, 300m m y arriba, y con software integrado del reconocimiento de patrones el UVISEL VIP puede caracterizar los materiales modelados encontrados en fulminantes de semiconductor, los materiales de la visualización, las estructuras de OLED y los biosensores con los espesores que colocan de algunos angstromes a varios diez de micrones.

El paquete de programas informáticos bien probado DeltaPsi2 controla el instrumento completo, y proporciona a un interfaz simple para la producción, la instalación piloto y las aplicaciones de la investigación.

Last Update: 17. January 2012 10:11

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