Misura di Alta Precisione di Spessore di Pellicola, dell'Indice Di Rifrazione e della Riflettività delle Pellicole Sottili e delle Pile A Più Strati Da Horiba Jobin Yvon

Published on August 22, 2007 at 10:43 PM

Horiba Jobin Yvon ha esteso la capacità di prestazione del ellipsometer modulato fase spettroscopica di UVISEL con l'integrazione del riflettometro Spettroscopico di VIP DUV. La combinazione di ellipsometer e di riflettometro di alta precisione che misurano alla stessa posizione del campione permette la caratterizzazione delle funzionalità piccole quanto 10 micron.

La fase spettroscopica di UVISEL ha modulato il ellipsometer integrato con il riflettometro Spettroscopico di VIP DUV

Le Applicazioni del UVISEL VIP comprendono la misura di spessore di pellicola, dell'Indice di rifrazione e della riflettività delle pellicole sottili e delle pile a più strati con molto alta precisione.

Tramite l'aggiunta di un'ampia area che mappa le fasi della dimensione 200mm, 300mm e sopra e con il software integrato di riconoscimento di forme il UVISEL VIP possono caratterizzare i materiali modellati trovati in wafer a semiconduttore, i materiali della visualizzazione, le strutture di OLED ed i biosensori con gli spessori che variano da alcuni angstrom a parecchi dieci dei micron.

Il pacchetto di programmi bene provato DeltaPsi2 gestisce lo strumento completo e fornisce un'interfaccia semplice per produzione, l'impianto pilota e le applicazioni della ricerca.

Last Update: 17. January 2012 10:50

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