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Horiba Jobin Yvon からの薄膜そして多層スタックのフィルム厚さ、 R.i. および反射力の高精度な測定

Published on August 22, 2007 at 10:43 PM

Horiba Jobin Yvon は VIP DUV の分光反射率計の統合を用いる UVISEL の分光段階によって調整される ellipsometer の性能ケイパビリティを拡張しました。 同じサンプル位置で測定する高精度の ellipsometer および反射率計の組合せは 10 ミクロン小さい機能の性格描写を可能にします。

UVISEL の分光段階は VIP DUV の分光反射率計によって統合された ellipsometer を調整しました

UVISEL VIP のアプリケーションは非常に高精度の薄膜そして多層スタックのフィルム厚さ、 R.i. および反射力の測定を含んでいます。

次元 200mm の、 300mm は以上に、そして統合されたパターン認識のソフトウェアが付いている段階をマップする大きい領域の付加によって UVISEL VIP 半導体ウエハーで、少数のオングストロームからミクロンの複数の 10 まで及ぶ厚さの表示材料見つけられる、模造された材料 OLED の構造およびバイオセンサーを特徴付けられます。

よく証明された DeltaPsi2 ソフトウエアパッケージは完全な器械を制御し、生産、試験工場および研究アプリケーションに簡単なインターフェイスを提供します。

Last Update: 17. January 2012 02:05

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