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Medição de alta precisão da espessura de filme, índice de refração e refletividade de Filmes Finos e Multicamadas Stacks De Horiba Jobin Yvon

Published on August 22, 2007 at 10:43 PM

Horiba Jobin Yvon ampliou a capacidade de desempenho da fase de elipsometria espectroscópica UVISEL modulada com a integração do reflectômetro DUV VIP espectroscópica. A combinação de alta precisão e elipsometria reflectômetro medição na posição mesma amostra permite a caracterização de estruturas tão pequenas quanto 10 mícrons.

UVISEL elipsometria espectroscópica fase modulada integrado com o reflectômetro DUV VIP Spectroscopic

Aplicações do VIP UVISEL incluem a medição da espessura de filme, índice de refração e refletividade de filmes finos e multicamadas pilhas com uma precisão muito elevada.

Pela adição de uma grande área etapas de mapeamento de dimensão 200mm, 300mm e acima, e com software integrado de reconhecimento de padrões da VIP UVISEL é capaz de caracterização de materiais padronizados encontrados em wafers de semicondutores, materiais de exposição, as estruturas de OLED e biossensores com espessuras que variam de poucos angstroms a várias dezenas de microns.

O pacote de software bem comprovada DeltaPsi2 controla o instrumento completo, e fornece uma interface simples para a produção de plantas-piloto, e aplicações de pesquisa.

Last Update: 8. October 2011 04:07

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