Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Измерение Высокой Точности Толщины Фильма, R.I. и Отражательной Способности Тонких Фильмов и Разнослоистых Стогов От Horiba Jobin Yvon

Published on August 22, 2007 at 10:43 PM

Horiba Jobin Yvon расширяло возможность представления ellipsometer UVISEL спектроскопическим модулируемого участком с внедрением рефлектометра VIP DUV Спектроскопического. Ellipsometer и рефлектометр высокой точности сочетание из измеряя на таком же положении образца позволяют характеризации характеристик как малых как 10 микронов.

Участок UVISEL спектроскопический модулировал ellipsometer интегрированное с рефлектометром VIP DUV Спектроскопическим

Применения UVISEL VIP включают измерение толщины фильма, R.I. и отражательной способности тонких фильмов и разнослоистых стогов с очень высокой точностью.

добавлением обширного района отображая этапы размера 200mm, 300mm и выше, и с интегрированным ПО распознавания по образцу UVISEL VIP могл характеризовать сделанные по образцу материалы найденные в вафлях полупроводника, материалы дисплея, структуры OLED и биосенсоры при толщины колебаясь от немного ангстромов к нескольким 10 микронов.

Хорошо доказанный пакет программ DeltaPsi2 контролирует полную аппаратуру, и обеспечивает простой интерфейс для продукции, опытного завода и применений исследования.

Last Update: 15. January 2012 04:09

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit