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胶片厚度、薄膜和多层栈 R.i. 和反射性的高精确度评定从 Horiba Jobin Yvon

Published on August 22, 2007 at 10:43 PM

Horiba Jobin Yvon 扩大了 UVISEL 分光镜阶段被调整的 ellipsometer 的性能与 VIP DUV 分光镜反射仪的综合化的。 高精度 ellipsometer 和反射仪的组合评定在同一个范例位置的允许功能的描述特性一样小象 10 微米。

UVISEL 分光镜阶段调整了 ellipsometer 集成与 VIP DUV 分光镜反射仪

UVISEL VIP 的应用包括胶片厚度、薄膜和多层栈 R.i. 和反射性的评定与非常高精确度。

由映射阶段维数 200mm, 300mm 以上和与集成模式识别软件的一大区的添加 UVISEL VIP 能分析在半导体片找到的被仿造的材料,显示材料、 OLED 结构和生理传感器与范围从一些埃的厚度到几十倍微米。

很好证明的 DeltaPsi2 软件包控制完全仪器,并且为生产、实验设备和研究应用提供一个简单的界面。

Last Update: 14. January 2012 22:09

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