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高精度測量薄膜厚度,折射率和反射率從 HORIBA Jobin Yvon的薄膜和多層協議棧

Published on August 22, 2007 at 10:43 PM

HORIBA Jobin Yvon公司已擴展UVISEL光譜相調製橢貴賓深紫外光譜反射一體化的表現能力。在同一樣品的位置精度高,橢偏儀和測量反射的結合,可以小到10微米的功能特性。

UVISEL光譜相位調製橢集成與貴賓深紫外光譜反射

UVISEL貴賓的應用包括測量薄膜厚度,折射率和反射率薄膜和多層堆疊,具有很高的精度。

通過增加200毫米,300毫米以上,並具有集成模式識別軟件的尺寸大面積映射階段 UVISEL貴賓能夠在半導體晶片,顯示材料,OLED的結構和生物傳感器中發現的圖案材料的厚度範圍從幾埃到幾十微米。

很好的證明 DeltaPsi2軟件包控制完整的儀器,並提供一個簡單的接口,生產,試驗工廠和研究中的應用。

Last Update: 25. October 2011 19:42

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