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UVISEL VUV-Phase Modulierte Spektralanalytisches Ellipsometer Von Horiba Jobin Yvon, das Unten Auf 140nm Ausgedehnt wurde

Published on August 22, 2007 at 10:51 PM

Die Einleitung des modulierten spektralanalytischen ellipsometer UVISEL VUV Phase von Horiba Jobin Yvon dehnt die Leistungsfähigkeiten der UVISEL-Serie unten bis 140 nm aus. Dieser Energiebereich wird für die Kennzeichnung von den extrem Dünnfilmen in zunehmendem Maße wichtig, die in nanoscale Einheiten mit nanoelectronic, nanophotonic, nanobiosensor und nanorobotic Anwendungen verwendet werden.

UVISEL VUV-ellipsometer

Das UVISEL VUV-ellipsometer liefert die beste Kombination überlegener VUV-Leistung und der experimentellen Flexibilität, dünne Dicke und optische Konstanten über dem Wellenlängenbereich 140 bis 826 nm zu bestimmen. Merkmale des UVISEL VUV umfassen:

  • Breiter Spektralbereich an sehr Hochgeschwindigkeits                           
  • Hoch entwickelte Auslegung für Hochleistung im VUV
  • Direkter Beispielzugriff und schnelles Laden
  • Phasenmodulationstechnologie für hohes Richtigkeit und Genauigkeits-Maß
  • Ausgezeichnetes Signal, zum Hintergrundverhältnis zu lärmen und zu signalisieren

Um in der Lage zu sein diese große Auswahl zu umfassen muss das Instrument Luft/sauerstofffreies sein, und es ist dieses Anforderungen die Beispieldurchsatz für einige Instrumente wegen der Falschluft und seines Ausbaus verringern können wenn die Probe von den Instrumenten montiert und ausgegliedert wird.

Um diesen Affekt herabzusetzen wird das UVISEL VUV als drei verschiedene Fächer konfiguriert; die Lampe + Polarisator, die Beispielkammer und der fotoelastische Modulator + der Monochromator + das FotovervielfacherErfassungssystem. Das Beispielfach hat unterschiedlichen Zugriff und wird mit seiner eigenen getrennten Löschenanlage ausgerüstet.

Diese Auslegung stellt hohe Flexibilität und Vielseitigkeit für die handhabende Probe zur Verfügung und aktiviert hohen Beispieldurchsatz.

Das UVISEL VUV wird durch die Plattform der Software Deltapsi2 gesteuert, und ist für Dünnfilmanwendungen VUV für fordernde Forschung und industrielle Qualitätskontrolle ideal.

Dünnfilm-Anwendungen VUV

Spektralanalytische ellipsometry Anwendungen VUV reichen von den Maßen der optischen Konstanten und des optischen bandgap der Materialien, die weit im UV wie hohen K-Materialien, organischen Materialien, Stepperoptik, Photoresists absorbieren.

VUV spektralanalytisches ellipsometry stellt erhöhte Präzision für Stärkemaß sehr von Dünnschichten und von Schnittstellen zur Verfügung. Dieses ist für nanoscale Anwendungen besonders nützlich, in denen die Kennzeichnung eines gediegenen Oxids, der rauen Überschicht oder der Schnittstelle die Leistungsfähigkeit der abschließenden Einheit beeinflußt.

Last Update: 17. January 2012 04:32

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