La introducción del ellipsometer espectroscópico con modulación de fase del VUV de UVISEL de Horiba Jobin Yvon amplía las capacidades de funcionamiento de la serie de UVISEL hacia abajo a 140 nanómetro. Este rango de la energía está llegando a ser cada vez más importante para la caracterización de las películas extremadamente finas usadas en dispositivos del nanoscale con nanoelectronic, nanophotonic, nanobiosensor y aplicaciones nanorobotic.
Ellipsometer del VUV de UVISEL
El ellipsometer del VUV de UVISEL proporciona a la mejor combinación del funcionamiento superior del VUV y de la adaptabilidad experimental de determinar espesor del film fino y constantes ópticos a través del rango de longitud de onda 140 a 826 nanómetro. Las Características del VUV de UVISEL incluyen:
- Rango espectral Ancho en muy de alta velocidad
- Diseño Avanzado para el alto rendimiento en el VUV
- Acceso Directo de la muestra y cargamento rápido
- Tecnología de la modulación de Fase para la alta exactitud y la medición de precisión
- Señal ruido y señal Excelentes a la relación de transformación de los antecedentes
Para poder revestir esta amplia gama el instrumento debe ser aire/libre de oxígeno, y es este los requisitos que pueden reducir la producción de la muestra para algunos instrumentos debido al acceso del aire y de su retiro cuando la muestra se monta y se desmonta de los instrumentos.
Para disminuir esta influencia el VUV de UVISEL se configura como tres compartimientos separados; la lámpara + polarizador, el compartimiento de la muestra, y el modulador + el monocromador + el sistema de detección fotoelásticos del fotomultiplicador. El compartimiento de la muestra tiene acceso separado y se equipa de su propio sistema aislado de la purgación.
Este diseño proporciona a altas adaptabilidad y flexibilidad para la muestra que manipula, y activa la alta producción de la muestra.
El VUV de UVISEL es controlado por la plataforma de programación Deltapsi2, y es ideal para las aplicaciones de la película fina del VUV para la investigación exigente y el control de calidad industrial.
Aplicaciones de la Película Fina del VUV
Las aplicaciones ellipsometry espectroscópicas del VUV colocan de las mediciones de los constantes ópticos y del bandgap óptico de los materiales que absorben lejos en el ULTRAVIOLETA tal como altos materiales de k, materiales orgánicos, la óptica de pasos, fotoprotecciones.
Ellipsometry espectroscópico del VUV proporciona a la precisión creciente para la medición del espesor mismo de capas delgadas y de interfaces. Esto es especialmente útil para las aplicaciones del nanoscale donde la caracterización de un óxido nativo, de una capa excesiva áspera o de un interfaz afecta a la eficiencia del dispositivo final.