El VUV Ellipsometer Espectroscópico Con modulación de fase de UVISEL De Horiba Jobin Yvon Extendió Hacia Abajo A 140nm

Published on August 22, 2007 at 10:51 PM

La introducción del ellipsometer espectroscópico con modulación de fase del VUV de UVISEL de Horiba Jobin Yvon amplía las capacidades de funcionamiento de la serie de UVISEL hacia abajo a 140 nanómetro. Este rango de la energía está llegando a ser cada vez más importante para la caracterización de las películas extremadamente finas usadas en dispositivos del nanoscale con nanoelectronic, nanophotonic, nanobiosensor y aplicaciones nanorobotic.

Ellipsometer del VUV de UVISEL

El ellipsometer del VUV de UVISEL proporciona a la mejor combinación del funcionamiento superior del VUV y de la adaptabilidad experimental de determinar espesor del film fino y constantes ópticos a través del rango de longitud de onda 140 a 826 nanómetro. Las Características del VUV de UVISEL incluyen:

  • Rango espectral Ancho en muy de alta velocidad                           
  • Diseño Avanzado para el alto rendimiento en el VUV
  • Acceso Directo de la muestra y cargamento rápido
  • Tecnología de la modulación de Fase para la alta exactitud y la medición de precisión
  • Señal ruido y señal Excelentes a la relación de transformación de los antecedentes

Para poder revestir esta amplia gama el instrumento debe ser aire/libre de oxígeno, y es este los requisitos que pueden reducir la producción de la muestra para algunos instrumentos debido al acceso del aire y de su retiro cuando la muestra se monta y se desmonta de los instrumentos.

Para disminuir esta influencia el VUV de UVISEL se configura como tres compartimientos separados; la lámpara + polarizador, el compartimiento de la muestra, y el modulador + el monocromador + el sistema de detección fotoelásticos del fotomultiplicador. El compartimiento de la muestra tiene acceso separado y se equipa de su propio sistema aislado de la purgación.

Este diseño proporciona a altas adaptabilidad y flexibilidad para la muestra que manipula, y activa la alta producción de la muestra.

El VUV de UVISEL es controlado por la plataforma de programación Deltapsi2, y es ideal para las aplicaciones de la película fina del VUV para la investigación exigente y el control de calidad industrial.

Aplicaciones de la Película Fina del VUV

Las aplicaciones ellipsometry espectroscópicas del VUV colocan de las mediciones de los constantes ópticos y del bandgap óptico de los materiales que absorben lejos en el ULTRAVIOLETA tal como altos materiales de k, materiales orgánicos, la óptica de pasos, fotoprotecciones.

Ellipsometry espectroscópico del VUV proporciona a la precisión creciente para la medición del espesor mismo de capas delgadas y de interfaces. Esto es especialmente útil para las aplicaciones del nanoscale donde la caracterización de un óxido nativo, de una capa excesiva áspera o de un interfaz afecta a la eficiencia del dispositivo final.

Last Update: 17. January 2012 10:11

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