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UVISEL VUV 段階は 140nm に伸びた Horiba Jobin Yvon からの分光 Ellipsometer を調整しました

Published on August 22, 2007 at 10:51 PM

Horiba Jobin Yvon からの UVISEL VUV の段階によって調整される分光 ellipsometer の導入は 140 nm に UVISEL シリーズの性能ケイパビリティを拡張します。 このエネルギー範囲は nanoelectronic、 nanophotonic の nanoscale 装置で使用される非常に薄膜の性格描写のためにますます重要に nanobiosensor および nanorobotic アプリケーションなっています。

UVISEL VUV の ellipsometer

UVISEL VUV の ellipsometer は優秀な VUV パフォーマンスおよび実験柔軟性の最もよい組合せを波長範囲 140 に 826 nm を渡る薄膜の厚さそして光学定数を定める提供します。 UVISEL VUV の機能は下記のものを含んでいます:

  • 非常に高速の広いスペクトル領域                           
  • VUV の高性能のための高度デザイン
  • 直接サンプルアクセスおよび速いローディング
  • 高精度なおよび精密測定のための位相変調の技術
  • 背景の比率への優秀な信号対雑音そしてシグナル

この広い範囲をカバーできるため器械は空気/自由に酸素でなければなりこのサンプルが器械から取付けられ、降りるとき空気および取り外しの入力のためにある器械のためのサンプルスループットを減らすことができる条件です。

この影響を最小化するためには UVISEL VUV は 3 つの別々のコンパートメントとして設定されます; ランプ + 偏光子、サンプル区域および photoelastic 変調器 + モノクロメーター + 光電子増倍管の検出システム。 サンプルコンパートメントに別のアクセスがあり、自身の隔離されたパージシステムが装備されています。

このデザインは扱うサンプルに高い柔軟性および多様性を提供し高いサンプルスループットを可能にします。

UVISEL VUV は Deltapsi2 ソフトウェアプラットホームによって制御され、デマンドが高い研究および工業品質管理の VUV の薄膜のアプリケーションにとって理想的です。

VUV の薄膜のアプリケーション

VUV の分光 ellipsometry アプリケーションは高い k 材料、有機材料、段階的な光学、光硬化性樹脂のような紫外線でずっと吸収する材料の光学定数そして光学 bandgap の測定から及びます。

VUV の分光 ellipsometry 薄層およびインターフェイスの厚さの測定に高められた精密を非常に提供します。 これはネイティブ酸化物、荒い終わる層またはインターフェイスの性格描写が最終的な装置の効率に影響を与える nanoscale のアプリケーションのために特に有用です。

Last Update: 17. January 2012 02:05

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