Horiba Jobin Yvon에서 UVISEL VUV 단계 변조된 Spectroscopic 타원계는 140nm까지 확장

Published on August 22, 2007 at 10:51 PM

에서 UVISEL VUV 단계 변조된 spectroscopic 타원계의 도입 Horiba Jobin Yvon는 UVISEL 시리즈 아래 140 nm의로의 성능 기능을 확장합니다. 이 에너지 범위 nanoelectronic, nanophotonic nanobiosensor 및 nanorobotic 응용 프로그램과 nanoscale 장치에서 사용되는 극히 박막의 특성에 대해 점점 더 중요 해지고 있습니다.

UVISEL VUV 타원계

UVISEL VUV 타원계이 우수 VUV 성능과 파장 범위 140-826 nm의 전체 박막의 두께와 광학 상수를 결정하기 위해 실험 유연성을 최고의 조합을 제공합니다. UVISEL VUV의 특징은 다음과 같습니다 :

  • 매우 높은 속도로 광범위한 스펙트럼 범위
  • VUV 높은 성능을위한 고급 디자인
  • 직접 샘플에 액세스하고 빠른 로딩
  • 높은 정확성과 정밀도 측정을위한 위상 변조 기술
  • 배경 비율 노이즈 및 신호로 우수한 신호

이 다양한 악기 공기 / 산소해야하며, 그것이 공기와 샘플이 마운트와 악기의 분리는 제거 진입하기 때문에 어떤 악기에 대한 샘플 처리량을 줄일 수 있습니다이 요구됩니다 표지하실 수 있습니다.

이것은 UVISEL VUV 영향을 최소화하기 위해 세 가지 별도의 구획으로 구성되며 램프 + 편광자, 샘플 챔버 및 photoelastic 변조기 + 단색 + photomultiplier 탐지 시스템입니다. 샘플 구획​​은 별도의 액세스 권한을 가지고 있으며, 자체 절연 정화 시스템을 갖추고 있습니다.

이 디자인은 높은 유연성과 샘플 처리에 대한 융통성을 제공하며, 높은 샘플 처리량을 수 있습니다.

UVISEL VUV은 Deltapsi2 소프트웨어 플랫폼에 의해 통제, 연구 및 산업 품질 관리를 요구를 위해 VUV 박막 애플 리케이션에 이상적입니다.

VUV 박막의 응용

광학 상수와 같은 훨씬 높은 K 재료, 유기 재료, 스테퍼 광학, photoresists로 자외선의 흡수 재료의 광학 밴드갭의 측정에서 VUV spectroscopic 타원 편광 반사 측정법 응용 프로그램 다양합니다.

VUV spectroscopic 타원 편광 반사 측정법은 매우 얇은 레이어와 인터페이스의 두께 측정 정밀도 향상을 제공합니다. 이것은 원시 산화물, 거친 이상 계층 또는 인터페이스의 특성은 최종 장치의 효율에 영향을 nanoscale 응용 프로그램에 특히 유용합니다.

Last Update: 17. October 2011 01:18

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