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O VUV Ellipsometer Espectroscópica Com modulação de fase de UVISEL De Horiba Jobin Yvon Estendeu Para Baixo A 140nm

Published on August 22, 2007 at 10:51 PM

A introdução do ellipsometer espectroscópica com modulação de fase do VUV de UVISEL de Horiba Jobin Yvon estende as capacidades de desempenho da série de UVISEL para baixo a 140 nanômetro. Esta escala da energia está tornando-se cada vez mais importante para a caracterização dos filmes extremamente finos usados em dispositivos do nanoscale com nanoelectronic, o nanophotonic, o nanobiosensor e aplicações nanorobotic.

Ellipsometer do VUV de UVISEL

O ellipsometer do VUV de UVISEL fornece a melhor combinação de desempenho superior do VUV e de flexibilidade experimental determinar a espessura de filme fino e constantes ópticas através da escala de comprimento de onda 140 a 826 nanômetro. As Características do VUV de UVISEL incluem:

  • Escala espectral Larga em muito de alta velocidade                           
  • Projecto Avançado para o elevado desempenho no VUV
  • Acesso Directo da amostra e carga rápida
  • Tecnologia da modulação de Fase para a precisão alta e a medida de precisão
  • Sinal Excelente propalar e sinalizar à relação do fundo

Para poder cobrir esta vasta gama o instrumento deve ser ar/oxigênio livre, e é este as exigências que podem reduzir a produção da amostra para alguns instrumentos devido ao ingresso do ar e da sua remoção quando a amostra é montada e desmontada dos instrumentos.

Para minimizar esta influência o VUV de UVISEL é configurado como três compartimentos separados; a lâmpada + polarizador, a câmara da amostra, e o modulador + o monocromador + o sistema de detecção fotoelásticos do photomultiplier. O compartimento da amostra tem o acesso separado e é equipado com seu próprio sistema isolado da remoção.

Este projecto fornece a flexibilidade e a versatilidade altas para a amostra que segura, e permite a produção alta da amostra.

O VUV de UVISEL é controlado pela plataforma de software Deltapsi2, e é ideal para pedidos de filme fino do VUV para a pesquisa de exigência e o controle industrial da qualidade.

Aplicações do Filme Fino do VUV

As aplicações ellipsometry espectroscópicas do VUV variam das medidas das constantes ópticas e do bandgap óptico dos materiais que absorvem distante no UV tal como materiais altos de k, materiais orgânicos, sistema ótico deslizante, fotoresistente.

Ellipsometry espectroscópica do VUV fornece a precisão aumentada para a medida da espessura de camadas e de relações muito finas. Isto é especialmente útil para as aplicações do nanoscale onde a caracterização de um óxido nativo, de uma camada excedente áspera ou de uma relação afecta a eficiência do dispositivo final.

Last Update: 15. January 2012 00:58

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