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एप्लाइड मैटेरियल्स की घोषणा की है अपनी नई FullVision एप्लाइड सिस्टम है कि 45nm डिवाइस नोड के लिए ढांकता हुआ सीएमपी प्रक्रियाओं की रीयल टाइम नियंत्रण सक्षम है और परे

एप्लाइड मैटेरियल्स, इंक . अपनी नई एप्लाइड ™ प्रणाली है कि 45 (एनएम) नैनोमीटर युक्ति नोड और परे करने के लिए ढांकता हुआ CMP1 प्रक्रियाओं के वास्तविक समय नियंत्रण के लिए सक्षम बनाता है FullVision की घोषणा की. FullVision प्रणाली जोड़ों एप्लाइड कई तरंगदैर्ध्य स्पेक्ट्रोस्कोपी सीटू endpoint क्षमता में ऑक्साइड, STI2, पाली और सीएमपी अनुप्रयोगों सहित ढांकता हुआ सामग्री, की एक किस्म के लिए उन्नत देने के साथ पेटेंट प्रौद्योगिकी विंडो में पैड. प्रणाली के सभी अनुप्रयोगों में कम से कम 150 ऐंग्स्ट्रॉम, 3 - सिग्मा नमूनों वेफर्स पर endpoint सटीकता के साथ उच्च repeatability के दर्शाता है. एकल तरंगदैर्ध्य endpoint प्रौद्योगिकियों पर एक प्रमुख अग्रिम, FullVision प्रणाली ढांकता हुआ अनुप्रयोगों के लिए 50% से अधिक विश्वसनीयता के साथ बेहतर माप सटीकता प्रदान करता है.

"सीएमपी endpoint प्रौद्योगिकी एप्लाइड मैटेरियल्स ने बीड़ा उठाया है और बेंचमार्क सीएमपी प्रदर्शन पहुंचाने के लिए महत्वपूर्ण है" डॉ. Hichem M'Saad, उपाध्यक्ष और एप्लाइड मैटेरियल्स के जनरल मैनेजर ने कहा कि ढांकता हुआ सिस्टम और सीएमपी व्यापार समूह '. "के रूप में फिल्मों पतली हो, सीएमपी तेजी से मुश्किल हो जाता है, और अधिक सटीक प्रक्रिया मे वफ़र नियंत्रण की आवश्यकता के लिए स्वीकार्य पैदावार प्राप्त करने के. ब्रॉडबैंड वर्णक्रमीय विश्लेषण का प्रयोग, FullVision प्रौद्योगिकी वफ़र भर व्यक्ति चमकाने क्षेत्रों मॉनिटर करने के लिए दो बार सटीकता और प्रतिस्पर्धी प्रणालियों के repeatability की प्रक्रिया के चरणों की एक विस्तृत विविधता पर उपलब्ध कराने के throughput के बिना कोई समझौता किए. इन उन्नत डिवाइस के निर्माण के लिए महत्वपूर्ण आवश्यकताओं रहे हैं. "

FullVision प्रणाली पहले से ही उनके उच्च मात्रा विनिर्माण में एप्लाइड परछाई ® लालकृष्ण सीएमपी सिस्टम पर प्रमुख स्मृति ग्राहकों द्वारा अपनाया गया है. इन ग्राहकों के लिए, सिस्टम काफी वफ़र उपभोज्य सेट और आवक वफ़र प्रोफ़ाइल विविधताओं में drifts की वजह से स्क्रैप को कम करने से उच्च सीएमपी उपज सक्षम है.

900 से अधिक 300mm सीएमपी सिस्टम दुनिया भर के एक स्थापित आधार के साथ - और स्वस्थानी मैट्रोलोजी में सबसे अच्छा के नस्ल planarization प्रदर्शन सुनिश्चित करने के लिए उन्नत प्रदान करने में एप्लाइड मैटेरियल्स सीएमपी प्रौद्योगिकी के क्षेत्र में उद्योग जाता है. देखें http://appliedmaterials.com/products/reflexion_lk_cmp_4.html एप्लाइड FullVision endpoint प्रणाली पर अधिक जानकारी के लिए.

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