Neuer Typ der Hohen Helligkeit, der Kontinuierliches in der Spektroskopie Verwendet Zu Werden Spektrum-Lichtquellen, der Biologischen Darstellung, der Wissenschaftlichen Forschung oder der Fotoresist-Prüfung

Published on February 21, 2008 at 11:30 AM

Energetiq Technology, Inc., ein Entwickler und Hersteller von fachkundigen kurzwelligen hellen Produkten für Anwendungen der neuen Technologie, stellt eine revolutionäre Technologie bei der 2008 SPIE Fortgeschrittenen Lithographie-Konferenz, 26.-27. Februar vor, die Lichtquellen aktiviert, extreme hohe Helligkeit und Leistung über dem breitesten Spektralbereich zu erzielen. Die Laser-Gesteuerte Lichtquelle LDLS (TM) wird im EQ-1000, das erste in einer Reihe von den benutzerfreundlichen, kompakten hellen Produkten dargestellt, die in einer Vielzahl von Anwendungen verwendet werden können. Das EQ-1000 kann konfiguriert werden für das breite Spektrum, das in der Spektroskopie, in der biologischen Darstellung und in der allgemeinen wissenschaftlichen Forschung ausgegeben wird, oder für spezifische Schmalbandspektralausgabe, wie 193nm für Fotoresistprüfung.

Eine einzelne EQ-1000 LDLS Laser-Gesteuerte Lichtquelle umfaßt Wellenlängen von 170nm über zur sichtbaren, beim Erreichen außergewöhnlichen hellen Leuchte und zur Leistung hinaus auf Niveaus, die die von Deuteriumlampen und an einem Bruch der Kosten von Excimer oder von anderen DUV-Lasern überschreiten. Das völlig integrierte EQ-1000, das helle Sammlungsoptik und eine Stromversorgung enthält, bietet eine Wahl des Schmalbands oder der optischen Breitbandausgabe an und erlaubt Flexibilität für die Abnehmer, die eine langlebige, hohe Helligkeits-, schmale oder Breitbandlichtquelle zu einem wirtschaftlichen Preis benötigen.

„LDLS-Technologie ist unsere neueste Innovation in hoch entwickelten Lichtquelleprodukten, die die Produktion der Einheiten Nano-schuppe der nächsten Generation der Welt aktivieren,“ sagte Paul Blackborow, CEO von Energetiq. „Gebäude nach unserer Sachkenntnis in der zuverlässigen hohen Helligkeit EUV und in der Lichtquellewissenschaft der hohen Leistung DUV, werden wir begeistert, um diese bahnbrechende Technologie anzubieten, die solch ein überlegenes Niveau der Helligkeit über einem sehr breiten Spektralbereich zulässt. Diese Technologie wird in unserer EQ-1000 LDLS Laser-Gesteuerten Lichtquelle, die erste Quelle der Welt von wirklich Breitband-DUV-VIS Leistung dargestellt. Jetzt können Forscher, die hohe Helligkeit benötigen, UV-Licht der hohen Leistung eine einzelne UV-VIS Quelle verwenden und ihnen eine kosteneffektive Alternative zum Kauf und zum Betreiben von mehrfachen Lampen oder von Lasern geben.“

Das kompakte EQ-1000 integriert leicht in Prozesshilfsmittel und in analytische Instrumente. Es verwendet eine gedichtete Xenongasküvette, anders als Excimerlaser, die den Einbau von giftigen Gasen benötigen. Die eigene Laser-gesteuerte Küvettetechnologie wird für überlegene Helligkeit und lange Lebensdauer optimiert.

Last Update: 17. January 2012 02:18

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