Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

סוג חדש של בהירות גבוהה, רציף מקורות אור ספקטרום לשמש ספקטרוסקופיה, הדמיה ביולוגית, מחקר מדעי או בדיקה photoresist

Published on February 21, 2008 at 11:30 AM

Energetiq Technology, Inc ., מפתחת ומייצרת קצר גל אור מוצרים מיוחדים ליישומים טכנולוגיה מתקדמת, תציג טכנולוגיה מהפכנית בכנס 2008 מתקדם ליתוגרפיה SPIE, 26-27 פבואר, המאפשרת מקורות האור כדי להשיג בהירות גבוהה קיצוני כוח בטווח הספקטרום הרחב. LDLS (TM) מונחה לייזר מקור האור הוא גילם את EQ-1000, הראשון בסדרה של ידידותי למשתמש, קל וקומפקטי מוצרים שניתן להשתמש בהם במגוון רחב של יישומים. EQ-1000 יכולה להיות מוגדרת עבור פלט ספקטרום רחב של ספקטרוסקופיה, הדמיה ביולוגית, והמחקר המדעי בכלל, או פלט מסוים הפס הצר רפאים, כגון 193nm לבדיקות photoresist.

אחת EQ-1000 LDLS לייזר מונחה מקור אור באורכי גל של 170nm מכסה כדי מעבר גלוי, תוך השגת אור בהיר כוח יוצא דופן ברמות החורגות מאלה של מנורות דאוטריום ו בכל חלק של העלות של excimer או לייזרים DUV. משולבים במלואם EQ-1000, אשר משלבת אופטיקה אוסף אור החשמל, מציע מבחר של הלהקה צרה או פלט אופטי פס רחב, המאפשר גמישות עבור לקוחות הזקוקים חיים ארוכים, בהירות גבוהה, מקור אור צר או בפס רחב בבית חסכוני מחיר.

"הטכנולוגיה LDLS היא החדשנות החדש שלנו מוצרים מתקדמים מקור האור המאפשרים את ייצור בקנה מידה ננו בעולם של התקני הדור הבא", אמר פול Blackborow, מנכ"ל Energetiq. "בניין על המומחיות שלנו אמין EUV בהירות גבוהה גבוהה כוח DUV מקור אור המדע, אנחנו שמחים להציע את הטכנולוגיה פורצת דרך המאפשרת לרמה כזאת מעולה של בהירות על פני טווח ספקטרום רחב מאוד. בטכנולוגיה זו מגולמת EQ-1000 שלנו LDLS לייזר מונחה מקור אור, המקור הראשון בעולם של כוח DUV-VIS פס רחב באמת. כעת, חוקרים הזקוקים בהירות גבוהה, אור גבוהה UV הכוח יכול להשתמש מקור יחיד UV-VIS, לתת להם חסכונית אלטרנטיבה הרכש ההפעלה מנורות מרובים או לייזרים. "

קומפקטי EQ-1000 משתלב בקלות לתוך כלי תהליך וכלים אנליטיים. היא משתמשת בגז הנורה קסנון חתום, בניגוד לייזרים excimer שדורשים התקנה של גזים רעילים. הטכנולוגיה הקניינית לייזר מונחה הנורה הוא מותאם במיוחד בהירות מעולה החיים ההפעלה ארוכה.

Last Update: 27. October 2011 17:31

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit