高輝度、分光法で使用される連続スペクトル光源、生体イメージング、科学研究やフォトレジストのテストの新しいタイプ

Published on February 21, 2008 at 11:30 AM

Energetiq技術、株式会社 。、先進的な技術のアプリケーションに特化した短波長の光製品の開発と製造業者は、2008年SPIE高度なリソグラフィ会議、2月26日〜27日で革新的な技術を導入する、それは極端な高輝度を達成するために光源を可能にし、広い波長範囲にわたって電力。 LDLS(TM)レーザー駆動光源は、さまざまなアプリケーションで使用することができるユーザーフレンドリーな、コンパクトな光製品のシリーズの最初の、EQ - 1000に具体化されている。 EQ - 1000は、分光法で広範囲の出力、生物学的イメージング、および一般的な科学研究のための、またはそのようなフォトレジストテストのために193nmのような特定の狭帯域のスペクトル出力、のために設定することができます。

重水素ランプを上回るレベルで、エキシマまたは他のDUVレーザのコストのほんの一部で例外的に明るい光とパワーを達成しつつ、単一のEQ - 1000 LDLSレーザー駆動光源は、170nmから超えて可視の波長をカバーしています。集光光学系と電源を内蔵した完全に統合されたEQ - 1000は、、経済的で長寿命、高輝度、狭いまたは広帯域光源を必要とする顧客のための柔軟性を、狭帯域または広帯域光出力の選択肢を提供しています価格。

"LDLS技術は、世界の次世代ナノスケールデバイスの生産を可能にする高度な光源製品の当社の最新のイノベーションである、"ポールBlackborow、Energetiqの最高経営責任者(CEO)は語った。 "信頼性の高い高輝度EUVと高出力DUV光源の科学の専門知識を基盤に、我々は非常に広い波長範囲にわたって明るさのような優れたレベルを可能にするこの画期的な技術を提供して興奮している。この技術は、に体現され私たちのEQ - 1000 LDLSレーザー駆動光源、真にブロードバンドDUV - VISパワーの世界初のソースは、今、高輝度を必要とする研究者は、ハイパワーUVライトがそれらに費用対効果の高いを与えて、単一のUV - VIS光源を使用することができます複数のランプまたはレーザーを購入し、動作の代わりに。"

コンパクトなEQ - 1000は、プロセスツールや分析機器にも容易に統合できます。それは、有毒ガスのインストールを必要とするエキシマレーザとは異なり、密封されたキセノンガスのバルブを使用しています。独自のレーザー駆動バルブの技術は、優れた明るさと長寿命のために最適化されています。

Last Update: 10. October 2011 08:18

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