Tegal Corporation, ein führender Designer und Hersteller der Plasmaätzung und der Absetzungsanlagen verwendet in der Produktion von integrierten Schaltungen, MEMS und Nanotechnologieeinheiten, heute angekündigt, dass sie eine Ordnung für ein Plasma-Ätzungshilfsmittel Tegal 6540 von der Staat Pennsylvania-Universität empfangen hat. Die Anlage Tegal 6540 ist in das Penn- StateNanofabrikations-Labor, eine Nationals- Science FoundationNationale Nanotechnologie-Infrastruktur-Network Site eingebaut, in dem das Plasmaätzungshilfsmittel verwendet wird, um Forschung auf komplexen Oxidmaterialien durchzuführen. Führen Sie zirconate Titanat (PZT), das eins einiger komplexer Oxidmaterialien ist, die an Penn State studiert werden, ist piezoelektrischen materiellen nützlichen für die Fabrikation von MEMS-Einheiten wie drahtlose Nachrichtenübermittlungsschalter in den zukünftigen Handyhörern und medizinischen Ultraschallwandler für Diagnosedarstellung.
Nach Ansicht Professors Theresa Mayer, Stellvertretender Direktor, Material-Forschungsinstitut und Professor der Elektrotechnik, „Penn State hat umfangreiche Erfahrung in der Absetzung, in der Radierung, in der Kennzeichnung und in der Integration von Dünnfilmen des komplexen Oxids für piezoelektrischen, pyroelectric, melodischen Nichtleiter und Galvano-Optikeinheitsanwendungen. Das Nanofabrikations-Labor an Penn State bietet unseren Academic und gewerblichen Verbraucher eindeutiger Zugriff zu diesen fortgeschrittene erreichbare Fertigungsgenauigkeiten an. Die Plasma-Radierungsanlage Tegal 6540, die wir kauften, fügt beträchtliche neue Stärken, zum Beispiel die Radierung von starkem PZT, unserer wachsenden Reihe von komplexen Oxideinheits-Fälschungsanlagen.“ hinzu
„Tegal wird geehrt, eine Ordnung von empfangen zu haben, und auf sich beziehen, das Weltklassen- Material-Forschungsinstitutprogramm über komplexe Oxide an Penn State,“ sagte Thomas Mika, Präsident u. CEO von Tegal Corporation. „Unsere Plasma-Radierungsanlage Tegal 6540 wird weltweit für wirtschaftlich lohnende Produktion des Volumens und auch für Forschungsaktivitäten, für PZT-basierte Einheiten verwendet. PZT wird in zunehmendem Maße in MEMS und in anderen Mikroelektronischen Produkten für wichtige neue kommerzielle Anwendungen, besonders im zellulären Hörermarkt ausgefahren. Wir freuen uns, vom Material-Forschungsinstitut als Lieferant der hoch entwickelten Plasmaätztechnik erkannt zu werden, die Penn State führenden Forschungsbedarf erfüllt, und wir sind auch gefallen wir bekannt als Verkäufer, der fähig ist zum Unterstützen der Erwartungen Penn State industrieller Partner für zuverlässige Prozesse und zum Aufbereiten von Hilfsmitteln.“
Das Tegal 6540 ist ein Plasmaätzungshilfsmittel mit hoher Schreibdichte, das den eindeutigen HRe-™reaktor kennzeichnen, und Tegals patentierte ZweifrequenzHF-Leistungstechnologie und magnetische Plasmabeschränkung. Die Anlage ist ein kritischer Enabler für die Ätzung von Edelmetallelektroden- und -kondensatormaterialien, einschließlich PZT sowie anderer ferroelectric, magnetischer, hoch--K Nichtleiter, Verbindungshalbleiter und Verbindungsmaterialien.