Tegal Corporation, proyectista de cabeza y fabricante de grabado de pistas del plasma y de sistemas de la deposición usados en la producción de los circuitos integrados, MEMS, y dispositivos de la nanotecnologÃa, anunciados hoy que ha recibido una pedido para una herramienta del grabado de pistas del plasma de Tegal 6540 de la Universidad de Estado de Pennsylvania. El sistema de Tegal 6540 será instalado en el Laboratorio de la Nanofabricación del Estado de Penn, un sitio de Red Nacional de la Infraestructura de la NanotecnologÃa del National Science Foundation, en donde la herramienta del grabado de pistas del plasma será utilizada para realizar la investigación sobre los materiales complejos del óxido. Lleve el titanato zirconato (PZT), que es uno de varios materiales complejos del óxido que son estudiados en el Estado de Penn, es transductores útiles para fabricar los dispositivos de MEMS tales como interruptores inalámbricos de la comunicación en microteléfonos del teléfono celular de la siguiente-generación, y médicos materiales piezoeléctricos del ultrasonido para la proyección de imagen diagnóstica.
Según Profesor Teresa Mayer, Director Adjunto, Instituto de Investigación de los Materiales, y Profesor de la Ingeniería Eléctrica, el “Estado de Penn tiene experiencia extensa en la deposición, la aguafuerte, la caracterización, y la integración de las películas finas del óxido complejo para el dieléctrico piezoeléctrico, pyroelectric, armonioso, y las aplicaciones del dispositivo electróptico. El Laboratorio de la Nanofabricación en el Estado de Penn ofrece a nuestros utilizadores académicos e industriales acceso único a éstos las capacidades de tramitación avance. El sistema de la aguafuerte del plasma de Tegal 6540 que compramos agregará las nuevas fuerzas importantes, por ejemplo la aguafuerte de PZT grueso, a nuestra habitación creciente de los sistemas complejos de la fabricación del dispositivo del óxido.”
“Tegal se honra para haber recibido una orden de, y ser asociado a, el programa de calidad mundial del Instituto de Investigación de los Materiales sobre los óxidos complejos en el Estado de Penn,” dijo a Thomas Mika, Presidente y CEO de Tegal Corporation. “Nuestro sistema de la aguafuerte del plasma de Tegal 6540 se está utilizando por todo el mundo para la producción comercial del volumen, y también para las actividades de investigación, para los dispositivos PZT-basados. PZT se está desplegando cada vez más en MEMS y otros productos microelectrónicos para las nuevas aplicaciones comerciales importantes, determinado en el mercado celular del microteléfono. Estamos satisfechos ser reconocidos por el Instituto de Investigación de los Materiales como surtidor de la tecnología avanzada de la aguafuerte del plasma que cubre las necesidades marginales de la investigación del Estado De Penn, y somos también satisfecho nosotros nos conocemos como vendedor capaz de utilizar las expectativas de los socios industriales del Estado De Penn para los procesos seguros y de tramitar las herramientas.”
El Tegal 6540 es una herramienta de alta densidad del grabado de pistas del plasma que ofrece el reactor único de HRe-™, y la tecnología patentada de la potencia del RF de la doble-frecuencia de Tegal y arresto magnético del plasma. El sistema es un enabler crítico para grabar el ácido los materiales del electrodo y del condensador del metal noble, incluyendo PZT, así como otro dieléctrico ferroeléctrico, magnético, alto-k, semiconductor compuesto, y materiales de la interconexión.