Tegal Corporation , johtava suunnittelija ja valmistaja plasma etch ja laskeuma-järjestelmien tuotannossa käytettävien integroitujen piirien, MEMS-ja nanoteknologian laitteet, ilmoitti tänään, että se on saanut tilauksen Tegal 6540 plasma etch työkalu Pennsylvania State University. Tegal 6540-järjestelmä asennetaan Penn State nanoteknologiakeskus laboratorio, National Science Foundation National Nanotechnology Infrastructure Network-sivuston, jossa plasma etch työkalua käytetään suorittamaan tutkimukseen monimutkaisia oksidi materiaaleja. Lyijy zirconate titanate (PZT), joka on yksi monista monimutkaisia oksidimateriaalien tutkitaan Penn State, on pietsosähköinen materiaali hyödyllinen fabricating MEMS kuten langattoman viestinnän kytkimet seuraavan sukupolven matkapuhelin puhelimia, ja lääketieteen ultraäänianturit diagnostiseen kuvantamiseen .
Mukaan professori Theresa Mayer, Apulaisjohtaja, materiaalit tutkimuslaitoksesta sekä professori sähkötekniikka, "Penn State University on laaja kokemus laskeuma, etsaus, kuvauksesta ja integroinnin monimutkaisia oksidi ohutkalvojen varten pietsosähköinen, elektrisestä, viritettävä dielektriset, ja sähköoptisten laitteen sovelluksiin. Nanoteknologiakeskus laboratorio Penn Staten tarjoaa myös korkeakoulujen ja teollisuuden käyttäjille ainutlaatuinen pääsy näihin kehittyneitä käsittelyn valmiuksia. Tegal 6540 plasma etsaus järjestelmä että hankimme lisää merkittäviä uusia vahvuuksia, esimerkiksi etsaus paksu PZT, kasvavaan Suite monimutkaisten oksidi laitteen valmistuksen järjestelmiä. "
"Tegal on kunnia olla saanut tilauksen, ja liittyä, maailmanluokan Materials Research Institute ohjelman kompleksiset Penn State", sanoi Thomas Mika, puheenjohtaja ja toimitusjohtaja Tegal Corporation. "Meidän Tegal 6540 plasma etsaus Järjestelmää käytetään maailmanlaajuisesti äänenvoimakkuuden kaupalliseen tuotantoon, ja myös tutkimustoimintaa varten PZT-pohjaisia laitteita. PZT yhä useammin käyttöön MEMS ja muiden mikroelektroniikan tuotteita tärkeää uusia kaupallisia sovelluksia, erityisesti solujen luurin markkinoille. Meillä on ilo tunnustaa Materials Research Institute toimittajana kehittyneen plasma etsaus teknologiaa, joka vastaa Penn State eturivin tutkimus-tarpeita, ja olemme myös tyytyväisiä Meidät tunnetaan myyjä pystyy tukemaan odotukset Penn State n teollisten kumppanien luotettavia prosesseja ja käsittelyn työkalut. "
Tegal 6540 on high-density plasma etch työkalu featuring ainutlaatuinen HRE-™ reaktori, ja Tegal patentoitu kaksitaajuusmittauksiin RF energiatekniikka ja magneettiset plasman koossapitoa. Järjestelmä on kriittinen mahdollistajana etsausta jalometallimuunnettu elektrodi ja kondensaattori materiaalit, mukaan lukien PZT sekä muut ferrosähköiset, magneettinen, high-k eristävänä, yhdistepuolijohteisiin ja yhteen materiaaleja.