Tegal Corporation, un principal créateur et un constructeur gravure à l'eau forte de plasma et systèmes de dépôt utilisés dans la production des circuits intégrés, MEMS, et les dispositifs de nanotechnologie, aujourd'hui annoncés qu'elle a reçu une commande pour un outil gravure à l'eau forte de plasma de Tegal 6540 de l'Université De L'Etat De Pennsylvanie. Le système de Tegal 6540 sera installé dans le Laboratoire de Nanofabrication d'État de Penn, un Site du réseau National d'Infrastructure de Nanotechnologie de National Science Foundation, où l'outil gravure à l'eau forte de plasma sera utilisé pour exécuter la recherche sur les matériaux complexes d'oxyde. Aboutissez le titanate zirconate (PZT), qui est l'un de plusieurs matériaux complexes d'oxyde étant étudiés à l'État de Penn, est des transducteurs utiles pour fabriquer des dispositifs de MEMS tels que des contacts de communication sans fil dans des combinés téléphoniques de la deuxième génération de téléphone portable et et médicaux matériels piézoélectriques d'ultrason pour la représentation diagnostique.
Selon Professeur Theresa Mayer, Directeur Associé, Institut de Recherches de Matériaux, et Professeur de Génie Électrique, « Penn State a une vaste expérience dans le dépôt, gravure, la caractérisation, et l'intégration des films minces complexes d'oxyde pour le diélectrique piézoélectrique, pyroelectric, réglable, et les applications de dispositif électrooptique. Le Laboratoire de Nanofabrication à l'État de Penn offre notre l'universitaire et utilisateurs d'industriel seul accès à ces derniers des capacités de traitement avancées. Le système gravure de plasma de Tegal 6540 que nous avons acheté ajoutera des forces neuves significatives, par exemple gravure de PZT épais, à notre suite croissante des systèmes complexes de fabrication de dispositif d'oxyde. »
« Tegal est honoré pour avoir reçu une commande de, et pour être associé avec, le programme parmi les meilleurs du monde d'Institut de Recherches de Matériaux sur les oxydes complexes à l'État de Penn, » a dit Thomas Mika, Président et PRÉSIDENT de Tegal Corporation. « Notre système gravure de plasma de Tegal 6540 est utilisé dans le monde entier pour la production commerciale de volume, et également pour des activités de recherche, pour les dispositifs PZT-basés. PZT est de plus en plus déployé dans MEMS et d'autres produits microélectroniques pour des applications commerciales neuves importantes, en particulier sur le marché cellulaire de combiné téléphonique. Nous sommes heureux d'être identifiés par l'Institut de Recherches de Matériaux en tant que fournisseur de la technologie avancée gravure de plasma qui répond aux besoins de pointe des recherches de l'État de Penn, et nous sommes également heureux nous sommes connus en tant que constructeur capable de supporter les attentes des associés industriels de l'État de Penn pour des procédés fiables et de traiter des outils. »
Le Tegal 6540 est un outil à haute densité gravure à l'eau forte de plasma comportant le seul réacteur de HRe-™, et la technologie à double fréquence brevetée d'alimentation électrique du RF de Tegal et le confinement magnétique de plasma. Le système est un enabler critique pour corroder des matériaux d'électrode et de condensateur en métal noble, y compris PZT, ainsi que d'autres diélectrique ferroélectrique, magnétique, de haut-k, semi-conducteur composé, et matériaux d'interconnexion.