Tegal Corporation, un progettista principale e produttore incissione all'acquaforte del plasma e dei sistemi di deposito utilizzati nella produzione dei circuiti integrati, MEMS ed unità di nanotecnologia, oggi annunciate che ha ricevuto un ordine per uno strumento incissione all'acquaforte del plasma di Tegal 6540 dalla Pennsylvania State University. Il sistema di Tegal 6540 sarà installato nel Laboratorio di Nanofabbricazione di Penn State, un sito di Rete Nazionale dell'Infrastruttura di Nanotecnologia del National Science Foundation, in cui lo strumento incissione all'acquaforte del plasma sarà utilizzato per realizzare la ricerca sui materiali complessi dell'ossido. Piombo il titanato zirconate (PZT), che è uno di parecchi materiali complessi dell'ossido che sono studiati a Penn State, è i trasduttori utili per da costruzione le unità di MEMS quali le opzioni wireless di comunicazione in microtelefoni di prossima generazione del telefono cellulare e e medici materiali piezoelettrici di ultrasuono per la rappresentazione diagnostica.
Secondo il Professor Theresa Mayer, Direttore Associato, Istituto Di Ricerca Dei Materiali ed il Professor di Ingegneria Elettrica, “Penn State ha estesa esperienza nel deposito, incisione, nella caratterizzazione e nell'integrazione delle pellicole sottili dell'ossido complesso per il dielettrico piezoelettrico, pyroelectric, musicale e le applicazioni dell'unità elettroottica. Il Laboratorio di Nanofabbricazione a Penn State offre i nostri utenti accademici ed industriali accesso unico a queste capacità di trattamento avanzate. Il sistema incisione del plasma di Tegal 6540 che abbiamo approvvigionato aggiungerà le nuove concentrazioni significative, per esempio incisione di PZT spesso, alla nostra serie crescente dei sistemi complessi di montaggio dell'unità dell'ossido.„
“Tegal è onorato per ricevere un ordine da ed essere associato con, il programma di livello internazionale dell'Istituto Di Ricerca Dei Materiali sugli ossidi complessi a Penn State,„ ha detto Thomas Mika, Presidente & CEO di Tegal Corporation. “Il Nostro sistema incisione del plasma di Tegal 6540 sta usando universalmente per produzione commerciale del volume ed anche per le attività di ricerca, per alle le unità basate PZT. PZT sempre più sta spiegando in MEMS ed in altri prodotti microelettronici per le nuove applicazioni commerciali importanti, specialmente nel servizio cellulare del microtelefono. Siamo soddisfatti di essere riconosciuti dall'Istituto Di Ricerca Dei Materiali come fornitore della tecnologia avanzata incisione del plasma che soddisfa le esigenze avanzate della ricerca di Penn State e siamo anche piacevole noi siamo conosciuti come venditore capace di supporto delle aspettative dei partner industriali di Penn State per i trattamenti affidabili e di elaborare gli strumenti.„
Il Tegal 6540 è uno strumento ad alta densità incissione all'acquaforte del plasma che caratterizzano il reattore unico di HRe-™ e la tecnologia a due frequenze brevettata di potenza della RF di Tegal e relegazione magnetica del plasma. Il sistema è un enabler critico per incidere dei materiali dell'elettrodo e del condensatore del metallo nobile, compreso PZT come pure altri dielettrico ferroelettrico, magnetico, alto--K, semiconduttore composto e materiali di interconnessione.