テガル株式会社 、集積回路、MEMS、ナノテクノロジーのデバイスの製造に使用されるプラズマエッチングと成膜システムの設計製造における業界屈指の企業は、本日、ペンシルバニア州立大学からテガル6540プラズマエッチングツールを受注したことを発表しました。テガル6540システムは、ペンシルベニア州立大学ナノファブリケーション研究所、プラズマエッチングツールが複雑な酸化物材料の研究を実行するために使用される国立科学財団国家ナノテクノロジー基盤ネットワークのサイトにインストールされます。ペンシルベニア州立大学で研究されているいくつかの複雑な酸化物材料の一つであるチタン酸ジルコン酸（PZT）を、鉛、画像診断のためにこのような次世代の携帯電話端末の無線通信スイッチなどのMEMSデバイス、および医療用超音波トランスデューサを製造するための有用な圧電材料である。
教授テレサメイヤー、アソシエートディレクター、材料研究所、および電気工学の教授によると、"ペンシルベニア州立大学は、特性評価、および圧電、焦電、調整可能な誘電体のための複合酸化物薄膜の統合をエッチング、成膜に豊富な経験を持ち、電気光学デバイスのアプリケーション。ペンシルベニア州立大学ナノファブリケーション研究所は、これらの高度な処理能力に我々の学術および産業のユーザ固有のアクセスを提供しています。我々が購入したテガル6540プラズマエッチングシステムは、複合酸化物デバイス製造システムの成長を続ける当社のスイートに、例えば厚さのPZTのエッチングのために、重要な新しい強みを追加します。"
"テガルは、からの注文を受けているために尊重され、関連付けられるため、ペンシルベニア州立大学の複雑な酸化物で、世界クラスの材料研究所のプログラム、"トーマスミカ、テガル株式会社の代表取締役社長兼CEOは述べています。 "我々のテガル6540プラズマエッチングシステムは、PZTベースのデバイス用に、ボリュームの商業生産のため、また研究活動のために世界中で使用されています。 PZTは、ますます、特に携帯電話市場において、重要な新しい商用アプリケーションのためのMEMSおよびその他のマイクロエレクトロニクス製品に展開されています。我々は、ペンシルベニア州立大学の最先端の研究ニーズを満たす高度なプラズマエッチング技術のサプライヤとして材料研究所によって認識されることをうれしく思います、そして我々は、ペンシルベニア州立大学の産業界のパートナーの期待をサポートできるベンダーとして知られているにも満足しています信頼性の高いプロセスと処理ツールのための。"
テガル6540は、ユニークなHRE -™の原子炉を搭載した高密度プラズマエッチングツールであり、およびテガルの特許化されたデュアル周波数、RFパワー技術と磁気プラズマ閉じ込め。システムは、貴金属電極とPZTだけでなく、他の強誘電体、磁性、高K誘電体、化合物半導体、およびインターコネクトの材料を含むコンデンサの材料を、エッチングするための重要なイネーブラです。