펜실베이니아 주립 대학교에서 Tegal 6540 플라스마 식각 공구를 위한 명령을 수신했다는 것을 직접 회로, MEMS의 생산에서, 그리고 오늘 알려지는 나노 과학 장치, 이용되는 플라스마 식각과 공술서 시스템의 Tegal Corporation, 수석 디자이너 및 제조자. Tegal 6540 시스템은 복잡한 산화물 물자에 대한 연구를 실행하기 위하여 플라스마 식각 공구가 사용될 펜실베니아 주립대학 Nanofabrication 실험실, 국립 과학 재단 국제적인 나노 과학 기반 통신망 사이트에 설치될 것입니다. zirconate 티탄 (PZT)를, 펜실베니아 주립대학에 공부되는 몇몇 복잡한 산화물 물자의 한개 인, 입니다 진단 화상 진찰을 위한 차세대 셀룰라 전화 송수화기에 있는 무선 커뮤니케이션 스위치와 같은 MEMS 장치 날조를 위해 압전 물자 유용한 의학 초음파 변형기 지도하십시오.
교수, 부소장, 물자 연구소 및 전자 공학 교수에 따르면 Theresa Mayer, "펜실베니아 주립대학에는 압전, pyroelectric, 조정 가능한 유전체 및 전기 광학 소자 응용을 위한 복잡한 산화물 박막의 공술서, 에칭, 특성 및 통합에 있는 광대한 경험이 있습니다. 펜실베니아 주립대학에 Nanofabrication 실험실은 우리의 학문 및 산업 사용자를 이들에 유일한 접근 진행한 프로세스 기능 제안합니다. 우리가 구매한 Tegal 6540 플라스마 에칭 시스템은 복잡한 산화물 장치 제작 시스템의 우리의 성장하고 있는 한 벌에 추가할 것입니다 중요한 새로운 병력, 예를 들면 두꺼운 PZT의 에칭을."
"Tegal 명령을에서 수신하기 위하여 적용되고, 연관되기 위하여 과, 펜실베니아 주립대학 에 복잡한 산화물 에 세계적인 물자 연구소 프로그램,"는 토마스 Mika, 대통령 & Tegal Corporation 의 CEO를 말했습니다. "우리의 Tegal 6540 플라스마 에칭 시스템은 양 상업 생산 그리고 또한 PZT 기지를 둔 장치를 위한 연구 활동을 위해, 세계전반 이용되고 있습니다. PZT는 셀 방식 송수화기 시장에서 중요한 새로운 상용 응용을 위한 MEMS 그리고 그밖 마이크로 전자 공학 제품에서 점점, 특히 배치되고 있습니다. 우리는 펜실베니아 주립대학의 앞 가장자리 연구 필요를 충족시키는 향상된 플라스마 에칭 기술의 공급자로 물자 연구소에 의해 인식되는 만족됩니다, 우리는 믿을 수 있는 프로세스를 위한 펜실베니아 주립대학의 산업 파트너의 기대를 지원하고 공구 가공하기 가능한 납품업자로입니다 또한 만족시켜 우리 알려집니다."
Tegal 6540는 HRe-™ 유일한 반응기를 특색짓는 고밀도 플라스마 식각 공구, 및 Tegal의 특허가 주어진 이중 주파수 RF 힘 기술 및 자석 플라스마 금고입니다. 시스템은 귀금속 전극과 축전기 물자, PZT를 포함하여, 뿐 아니라 그밖 ferroelectric 식각을 위한 중요한 enabler, 자석, 높은 K 유전체, 합성 반도체 및 내부 연락 물자입니다.