Bedrijf van Tegal, een belangrijke die ontwerper en een fabrikant van plasma etsen en depositosystemen in de productie van geïntegreerde schakelingen, MEMS worden gebruikt, en de nanotechnologieapparaten, kondigden vandaag aan dat het een orde voor een Tegal heeft ontvangen 6540 plasma hulpmiddel van de Universiteit van de Staat van Pennsylvania etsen. Tegal 6540 systeem zal in het Laboratorium van de Nanofabricatie van de Staat Penn, een Nationale plaats van het Netwerk van de Infrastructuur van de Nanotechnologie van de Stichting van de Wetenschap worden geïnstalleerd Nationale, waar het plasma etst hulpmiddel zal worden gebruikt om onderzoek naar complexe oxydematerialen uit te voeren. Zirconate titanaat van het Lood (PZT), dat één van verscheidene complexe oxydematerialen die bij Staat Penn worden bestudeerd is, is piezoelectric materiële nuttige om apparaten MEMS zoals draadloze communicatie schakelaars in de telefoonzaktelefoons van de volgende-generatiecel te vervaardigen, en medische ultrasone klankomvormers voor kenmerkende weergave.
Volgens Professor Theresa Mayer, Verwante Directeur, het Onderzoekinstituut van het van Materialen, en Professor van Elektrotechniek, „de Universiteit van de Staat Penn heeft uitgebreide ervaring in het deposito, ets, karakterisering, en integratie van complexe oxyde dunne films voor piezoelectric, pyroelectric, melodieuze diëlektrische, en electro-optic apparatentoepassingen. Het Laboratorium van de Nanofabricatie bij Staat Penn biedt onze academische en industriële gebruikers unieke toegang tot deze geavanceerde verwerkingsmogelijkheden aan. Tegal 6540 het systeem van de plasmaets dat wij kochten zal significante nieuwe sterke punten, bijvoorbeeld de ets van dikke PZT, aan onze groeiende reeks van complexe de vervaardigingssystemen van het oxydeapparaat.“ toevoegen
„Tegal is geëerd om een orde van, en met, het programma van wereldklasse ontvangen te hebben van het Onderzoekinstituut van het van Materialen over complexe oxyden bij Staat worden geassocieerd Penn,“ bovengenoemd Thomas Mika, Voorzitter & CEO van Bedrijf Tegal. „Onze Tegal 6540 wordt het systeem van de plasmaets gebruikt wereldwijd voor volume commerciële productie, en ook voor onderzoekactiviteiten, voor op PZT-Gebaseerde apparaten. PZT wordt meer en meer opgesteld in MEMS en andere micro-electronische producten voor belangrijke nieuwe commerciële toepassingen, in het bijzonder in de cellulaire zaktelefoonmarkt. Wij zijn pleased om door het Onderzoekinstituut van het van Materialen als een leverancier van de geavanceerde technologie van de plasmaets worden erkend die aan leading-edge het onderzoekbehoeften van de Staat Penn voldoet, en wij zijn ook tevreden wij zijn gekend als verkoper geschikt om de verwachtingen van de industriële partners van de Staat Penn voor betrouwbare processen te steunen en hulpmiddelen te verwerken.“
Tegal 6540 is een high-density plasma etst hulpmiddel de unieke reactor HRe-™ kenmerken, en technologie van de de dubbel-frequentieRF macht van Tegal de gepatenteerde en magnetische plasmabeperking die. Het systeem is een kritieke enabler voor het etsen van edele van de metaalelektrode en condensator materialen, met inbegrip van PZT, evenals andere ferroelectric, magnetisch, diëlektrisch hoog-k, samenstellingshalfgeleider, en verbindt materialen onderling.