Tegal Corporaçõ, um desenhista principal e fabricante gravura em àgua forte do plasma e dos sistemas do depósito usados na produção dos circuitos integrados, MEMS, e os dispositivos da nanotecnologia, anunciados hoje que recebeu um pedido para uma ferramenta gravura em àgua forte do plasma de Tegal 6540 da Universidade Estadual de Pensilvânia. O sistema de Tegal 6540 será instalado no Laboratório da Nanofabricação de Penn State, uma Site de rede Nacional da Infra-estrutura da Nanotecnologia do National Science Foundation, onde a ferramenta gravura em àgua forte do plasma será usada para executar a pesquisa sobre materiais complexos do óxido. Conduza o titanate zirconate (PZT), que é um de diversos materiais complexos do óxido que estão sendo estudados em Penn State, é uns transdutores úteis fabricando dispositivos de MEMS tais como interruptores sem fio de uma comunicação nos monofones do telemóvel da próxima geração, e médicos materiais piezoeléctricos do ultra-som para a imagem lactente diagnóstica.
De acordo com o Professor Theresa Mayer, Director Adjunto, Instituto de Investigação dos Materiais, e Professor da Engenharia Elétrica, “Penn State tem a experiência extensiva no depósito, gravura a água-forte, na caracterização, e na integração de filmes finos do óxido complexo para o dielétrico piezoeléctrico, pyroelectric, ajustável, e aplicações electro-óticas do dispositivo. O Laboratório da Nanofabricação em Penn State oferece nossos usuários académicos e industriais acesso original a estes capacidades de processamento avançadas. O sistema gravura a água-forte do plasma de Tegal 6540 que nós compramos adicionará forças novas significativas, por exemplo gravura a água-forte de PZT grosso, a nossa série crescente de sistemas complexos da fabricação do dispositivo do óxido.”
“Tegal é honrado para ter recebido um pedido de, e para ser associado com, o programa do Instituto de Investigação dos Materiais da mundo-classe em óxidos complexos em Penn State,” disse Thomas Mika, Presidente & CEO de Tegal Corporaçõ. “Nosso sistema gravura a água-forte do plasma de Tegal 6540 está sendo usado no mundo inteiro para a produção comercial do volume, e igualmente para actividades de pesquisa, para dispositivos PZT-baseados. PZT está sendo distribuído cada vez mais em MEMS e em outros produtos micro-electrónicos para aplicações comerciais novas importantes, particularmente no mercado celular do monofone. Nós somos satisfeitos ser reconhecidos pelo Instituto de Investigação dos Materiais como um fornecedor da tecnologia avançada gravura a água-forte do plasma que encontra necessidades da pesquisa da vanguarda de Penn State, e nós somos satisfeitos nós somos sabidos igualmente como um vendedor capaz de apoiar as expectativas dos sócios industriais de Penn State para processos seguros e de processar ferramentas.”
O Tegal 6540 é uma ferramenta high-density gravura em àgua forte do plasma que caracterizam o reactor original de HRe-™, e da duplo-freqüência de Tegal tecnologia patenteada da potência do RF e confinamento magnético do plasma. O sistema é um enabler crítico para gravar materiais do eléctrodo e do capacitor do metal nobre, incluindo PZT, assim como outros dielétrico ferroelectric, magnético, alto-k, semicondutor composto, e materiais da interconexão.