Tegal Corporation、主设计师和制造商用于集成电路， MEMS 的生产和证言系统的等离子铭刻和纳米技术设备，今天宣布它从宾夕法尼亚州立大学收到了 Tegal 6540 等离子铭刻工具的订单。 Tegal 6540 系统在宾州州立大学极小制作实验室，国家科学基金会国家纳米技术基础设施网络位置将被安装，等离子铭刻工具将用于进行对复杂氧化物材料的研究。 导致锆酸盐钛酸盐 (PZT)，是被学习在宾州州立大学的几复杂氧化物材料之一，是诊断想象的一种压电物质有用为制造 MEMS 设备例如在下一代移动电话手机的无线通信切换和医疗超声波变换装置。
根据特里萨 Mayer 教授，副主任、材料研究所和电机学教授， “宾州州立大学有广泛的经验在复杂压电， pyroelectric，可调的电介质和电光的设备应用的氧化物薄膜的证言、蚀刻、描述特性和综合化。 宾州州立大学的极小制作实验室提供我们的学术和行业用户对这些的唯一存取提前的加工能力。 我们采购的 Tegal 6540 等离子蚀刻系统将添加重大的新的力量，例如蚀刻厚实的 PZT，到复杂氧化物设备制造系统我们的生长套件”。
“Tegal 荣幸收到了订单从，并且与相关，复杂氧化物的国际水平的材料研究所程序在宾州州立大学”，托马斯米卡， Tegal Corporation 的总统 & CEO 说。 “我们的 Tegal 6540 等离子蚀刻系统使用全世界为数量商业性生产，并且为研究活动，基于 PZT 的设备的。 PZT 在 MEMS 和其他微电子学产品越来越部署重要新的商务应用的，特别地在蜂窝电话手机市场上。 我们高兴地由材料研究所认可作为适应宾州州立大学的前进研究需要先进的等离子蚀刻技术的供应商，并且我们是也喜欢我们是公认的供营商能够支持宾州州立大学的行业合作伙伴的期望可靠的进程的和处理工具”。
Tegal 6540 是一个高密度等离子铭刻工具以唯一 HRe-™反应器为特色的和 Tegal 的给予专利的双重频率 RF 功率技术和磁性等离子分娩。 这个系统是铭刻的贵重金属电极和电容器材料一个重要支持因素，包括 PZT，以及其他铁电，磁性，高的 K 电介质、化合物半导体和互连材料。