等離子體刻蝕和沉積系統用於生產集成電路，MEMS和納米技術設備的領先設計者和製造商， Tegal公司 ，今天宣布，它已經收到訂單為Tegal 6540從美國賓夕法尼亞州立大學的等離子蝕刻工具。 Tegal 6540系統將被安裝在賓夕法尼亞州立大學的納米加工實驗室，國家科學基金會國家納米技術基礎設施網絡網站，等離子體刻蝕工具將被用來執行複雜的氧化物材料的研究。鉛鋯鈦酸（壓電陶瓷），這是一個在賓夕法尼亞州立大學正在研究的幾種複合氧化物材料，如在下一代手機手機的無線通信開關製造 MEMS器件，醫用超聲換能器的壓電材料可用於診斷成像。
據特蕾莎邁耶教授，副主任，材料研究所，電氣工程教授，“美國賓夕法尼亞州立大學的豐富經驗的沉積，蝕刻，表徵和複合氧化物薄膜的壓電，熱釋電，介電可調的集成，並電光設備應用程序。在賓夕法尼亞州立大學的納米加工實驗室提供了學術界和工業界的獨特的用戶訪問到這些先進的加工能力。 Tegal 6540等離子體刻蝕購買系統，我們將顯著增加的新的優勢，例如厚的PZT的刻蝕，我們越來越多的複合氧化物設備製造系統。“
“Tegal是榮幸地接到命令，要關聯的，世界一流的材料研究所在賓夕法尼亞州立大學的複合氧化物方案，米卡，Tegal公司總裁兼首席執行官托馬斯說。”他說：“我們 Tegal 6540等離子體刻蝕系統正在使用的世界各地的批量商業化生產，同時也為研究活動，基於壓電設備。壓電陶瓷是越來越多地被部署在MEMS和其他微電子產品為重要的新的商業應用，尤其是在手機市場。我們都高興的材料研究學會作為先進的等離子蝕刻技術符合賓夕法尼亞州立大學的尖端研究需要的供應商的認可，和我們都還高興，我們是廠商能夠支持賓夕法尼亞州立大學的工業合作夥伴的期望的已知可靠的工藝和加工工具。“
Tegal 6540是一種高密度等離子體刻蝕工具，具有獨特的HRE™反應堆，Tegal的獲得專利的雙頻率的射頻功率技術和磁等離子體約束。該系統是一種高貴的金屬電極和電容器材料，包括壓電陶瓷，以及其他的鐵電，磁，高k電介質，化合物半導體，互連材料蝕刻的關鍵推動者。