Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

المواد التطبيقية مجموعات قياسي جديد لتنظيف الضوئية الرئيسية

Published on April 15, 2008 at 9:50 AM

المواد التطبيقية ، وشركة صدر اليوم عن التطبيقية تيترا ™ شبكاني النظافة والنظام في هذه الصناعة النظيفة الرطب الوحيد الذي يوفر خالية من الضرر ،> إزالة الجسيمات من 99 ٪ لكفاءة 32nm ، وبعده (Photomask) الزجاجية. تمكين العملاء من المواصفات يتجاوز 32nm للتطبيقات الحيوية قناع التنظيف ، ونظام تيترا شبكاني المضغوط مجموعات نظيفة أيضا معيارا جديدا للإنتاجية ، وتقديم ما يصل إلى أربعة أضعاف سرعة أي نظام المنافسة.

"نظم التنظيف التقليدية الضوئية الرئيسية لم تكن قادرة على مواجهة التحدي المتمثل في تنظيف الرائدة أقنعة بفعالية دون تعرضها للتلف" ، وقال أجاي كومار ، المدير العام لقناع المواد التطبيقية "إحفر وينظف تقسيم المنتج. واضاف "لقد تغلبنا على هذا الحاجز التكنولوجيا مع نظام تيترا شبكاني النظافة ، وتمكين صانعي قناع لتحقيق الأداء السريع التنظيف التي يحتاجونها ، مع المحافظة على سلامة ميزة القناع ومراقبة المرحلة التي عملائها الطلب".

أداء نظام تيترا النظافة شبكاني الملحوظ الذي تم بالفعل التحقق من صحة في بيئة الإنتاج المصنعة بتقنية 45nm ، هو نتيجة لعدة ابتكارات في تنظيف التكنولوجيا. ميزات النظام فريدة من نوعها ، وتصميم مرن وخالية من الكبريت ، النشادر المتقدمة القائمة على مواد التنظيف التي تتضافر لتحقيق أقصى قدر من مقاومة للضوء وإزالة الجسيمات دون الإضرار القناع. الملكية الموحدة التجويف Megasonics ™ (UCM) تكنولوجيا الطاقة يوزع بالتساوي على سطح القناع بأكمله ، وتجنب الأضرار المسببة للطفرات التي تولدها التقليدية نقطة مصدر megasonic ينظف [1]. نظام تيترا شبكاني النظافة كما يدخل NanoDroplet ™ التكنولوجيا التي تستخدم لتصميم فوهة فريدة لإنشاء وموحدة صغيرة وعالية الزخم التي توزع بالتساوي قطرات الطاقة والمساعدة في تقديم 32nm ، وخارج تنظيف الأداء.

يتم تمكين الإنتاجية العالية القياسي لنظام تيترا شبكاني النظافة من خلال قدرته على التعامل مع كلا الجانبين من قناع واحد ، وخفض وقت عملية في النصف مقارنة لأنظمة التنظيف الأخرى. هذه الميزة تمكن extendibility للأجيال المستقبل من خلال قناع السماح باستخدام كيمياء مختلفة على كل جانب من دون خلط. يمكن تكوين النظام مع وحدات المعالجة المتعددة ، وتقديم صانعي قناع القدرة على القضاء على الاختناقات المعالجة والحد من دورة مرات. لمزيد من المعلومات حول شبكاني التطبيقية النظافة تيترا ، بزيارة www.appliedmaterials.com/products/reticle_clean_4.html .

نظام تيترا شبكاني النظافة هي جزء من محفظة التطبيقية والتوسع في التصنيع الضوئية الرئيسية والحلول التفتيش. يتم استخدام نظام شبكاني تيترا التطبيقية إحفر بواسطة تقريبا كل متجر قناع تقدما في العالم من أجل التنمية الضوئية الرئيسية 45nm والإنتاج. وAera2 التطبيقية نظام التفتيش قناع ™ ، أعلنت اليوم فقط ، ويتيح للعملاء على الفور معرفة ما ستتم طباعة النمط على الرقاقة. وسيتم عرض هذه solutons في منتدى المواد التطبيقية التقنية في يوكوهاما ، اليابان ، في 15 أبريل أثناء سبي الضوئية الرئيسية واليابان عام 2008. زيارة www.appliedmaterials.com/2008_PMJ .

Last Update: 6. October 2011 00:00

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit