KLA-Tencor는 컴퓨터 석판인쇄술 공구의 최신 버전을 소개합니다

Published on July 11, 2008 at 11:33 AM

오늘 KLA-Tencor는 그것의 산업 주요한 컴퓨터 석판인쇄술 공구, PROLITH (TM)의 최신 버전을 11. 소개했습니다. 새로운 도구는 사용자를 현재 두 배 모방 계획을 평가하고 비용 효과적으로 디자인, 물자 및 공정개발에 있는 석판인쇄술 도전에 대체 해결책을 탐구하는 처음으로 가능하게 합니다. 이 새로운 컴퓨터 석판인쇄술 공구는 또한 단 하나 통행 모방 및 침수 기술을 지원합니다.

"두 배 모방 석판인쇄술의 출현 석판인쇄술 복합성과 실험적인 비용에 있는 극 증가 때문에 회로 디자이너와 칩메이커에,"는 주의한 Ed Charrier, 부사장과 KLA-Tencor의 순서 관리 정보 부의 총관리인 도전했습니다. "컴퓨터 석판인쇄술은 이 비용 통제를 위한 필수적인 공구가 되었습니다. 컴퓨터 석판인쇄술 공구 사이에서, PROLITH 11에는 엔지니어가 디자인의, 물자 또는 가공 상태의 특정한 문제를 해결하기 위하여 광범위를 탐구하는 것을 허용하는 유일한 기능이 있습니다 -- 놀라우 것의 자원에 소비할 필요없이."

두 배 모방 석판인쇄술은 (DPL) 2개의 상호 배치한 패턴으로 패턴을 분할해서 향상된 장치의 작은 특징 구성을 위한 방법입니다. 이것은 두 배 가면 세트 및 새로운 감광저항 물자가 DPL 층, 증폭 가공 복합성 및 비용을 위해 요구된다는 것을 의미합니다. 전문가가 32nm 마디에 $4M를 초과하기 위하여 가면 세트의 가격을 예상하는 상태에서, fabs는 강하게 가면이 디자인하다 그래야 완전히 2 통행, 두 배 가면이 어떻게 가공 상태의 자연적인 범위의 밑에 웨이퍼에, 전략을 인쇄할, 물자 이중 저항하고 가공이 매개변수 첫번째로 맞은 지 성격을 나타내기 위하여 동기를 줍니다.

PROLITH 11는 엔지니어가 전례가 없는 정밀도를 가진 이 복합 시스템을 만드는 것을 허용하고, 가면 디자인, 감광저항 속성 및 인쇄한 패턴에 대한 스캐너 또는 가공 매개변수에 있는 작거나 큰 변경의 효력을 탐구해서 시스템을 낙관하기 위하여 그 후에 모형을 이용합니다. PROLITH 11를 사용해서, fabs는 시장철과 조각난 가공한 웨이퍼의 수천에 있는 결과를 연기하는 제품 웨이퍼에 시간이 걸리는, 비싼 실험을 피합니다.

KLA-Tencor에서 시스템의 완전한 한 벌에 있는 1개의 공구로 발송되었습니다 미국, 일본 및 대만에 있는 주요한 칩메이커에 향상된 석판인쇄술 도전, PROLITH 11를 제시하는 것을 디자인했습니다. PROLITH 플래트홈은 지금 65nm와 45nm 장치를 일으키는 실제로 각 칩메이커의 발달 단에 설치된 시장에 널리 이용되는 석판인쇄술 시뮬레이션 연장 세트 구성하고 있습니다.

PROLITH 11 기술 개요

기본 적이고 및 준엄한 계산

  • PROLITH 11는 모방을 두배로 하고 인쇄에 있는 가변성이 첫번째 층 두번째 층에 어떻게 영향을 미칠 수 있던지 산출하기 위하여 지세 특성을 만드는 유일한 석판인쇄술 시뮬레이터 입니다.
  • PROLITH 11 결과는 기본적인 광학 적이고 및 반응 속도 모형에 근거를 둡니다.
  • PROLITH는 수용할 수 있습니다:
  • 복잡한 필름 더미
  • 내재되어 있던 기질 지세
  • PROLITH 11는 IC에서 데이터를 사용하여 모형을 측정될 수 있습니다 제조하고, 저항합니다 납품업자, 연구 단체 및 협회를 저항합니다.

문제 해결을 위한 결과의 추정

  • PROLITH 11 모형은 탐구하기 위하여 이용될 수 있습니다:
  • 새로운 가면 디자인
  • 새로운 감광저항
  • 다른 스캐너 조정
  • 다른 가공 매개변수

무료한 가득 차있 칩 시뮬레이터
24 이하 시간에 있는 전체 칩을 낙관하기 위하여 디자인되는 무료한 가득 차있 칩 시뮬레이터, PROLITH 상세에 있는 거푸집의 좁은 지역을 즉시 만듭니다. 가득 차있 칩 시뮬레이터의 결과가 디자인과 가공 상태의 1 세트에 적용하는 동안, PROLITH 결과는 모형이 생성된 조건에서 각종 해결책이 탐구될 수 있다 그래야, 현저하게 추정될 수 있습니다. PROLITH 결과는 가득 차있 칩 시뮬레이터가 달리는 최적 조건을 결정하기 위하여 이용될 수 있습니다.

Last Update: 15. January 2012 01:31

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