KLA-Tencor Вводит Самую Последнюю Версию Вычислительного Инструмента Литографированием

Published on July 11, 2008 at 11:33 AM

Сегодня KLA-Tencor ввело самую последнюю версию своего ведущего в отрасли вычислительного инструмента литографированием, PROLITH (TM) 11. Новый инструмент позволяет пользователи для the first time оценить настоящие двойн-делая по образцу схемы и цена-эффективн исследует другие разрешения к возможностям литографированием в конструкции, материалах и отростчатом развитии. Этот новый вычислительный инструмент литографированием также поддерживает технологии делать по образцу и погружения один прохода.

«Эмерджентность двойн-делая по образцу литографирования бросала вызов конструкторы цепи и чипмейкеры из-за феноменального увеличения в сложности литографированием и экспириментально ценах,» замеченный Ed Charrier, недостаток - президент и генеральный директор Разделения Данным По Управления Производственным Процессом KLA-Tencor. «Вычислительное литографирование стало необходимым инструментом для контролировать эти цены. Среди вычислительных инструментов литографированием, PROLITH 11 имеет уникально способность позволить инженерам исследовать широкие диапазоны условий конструкции, материальных или отростчатых для того чтобы разрешить определенную проблему -- без потратить ресурсы сказочного.»

Двойн-Делая по образцу литографирование (DPL) метод для строить малые характеристики предварительных приборов путем разделять картину в 2 interleaved картины. Это значит что двойной комплект маски и новые материалы фоторезиста необходимы для слоев DPL, усиливаясь отростчатой сложности и цены. При специалисты предсказывая цену комплекта маски для превышения $4M на узле 32nm, fabs сильно мотивированный тщательно для того чтобы характеризовать как двух траекторное, двойн-маска, двойн-сопротивляет стратегии напечатает на вафле под естественным рядом отростчатых условий, так, что маска конструирует, материалы и параметры процесса правы the first time.

PROLITH 11 позволяет инженерам моделировать эту комплексную систему с беспрецедентный точностью, и после этого использует модель для того чтобы оптимизировать систему путем исследовать влияния малых или больших изменений в конструкции маски, свойствах фоторезиста, и блоке развертки или параметрах процесса на напечатанной картине. Путем использование PROLITH 11, fabs во избежание требующий много времени, дорогие эксперименты на вафлях продукта которые время задержки выйти на рынок и привести к в тысячах scrapped обрабатываемых вафель.

Как один инструмент в полной сюите систем от KLA-Tencor конструировал адресовать предварительные возможности литографированием, PROLITH 11 грузит к ведущим чипмейкерам в США, Японии и Тайвани. Платформа PROLITH состоит из наиболее широко используемого toolset имитации литографированием на рынке, установленном в группы в составе развития фактически каждый чипмейкер в настоящее время производя приборы 65nm и 45nm.

СВОДКА ТЕХНОЛОГИИ PROLITH 11

Основные и Неукоснительные Вычисления

  • PROLITH 11 единственный имитатор литографированием для моделирования специфического топографии удвоить делать по образцу и высчитать как изменчивость в печатании первый слой смогла повлиять на второй слой.
  • Результаты PROLITH 11 основаны на основных оптически и кинетических моделях.
  • PROLITH может приспособить:
  • Сложные стога фильма
  • Врезанная топография субстрата
  • PROLITH 11 сопротивляют моделям можно откалибрировать используя данные от IC изготовляют, сопротивляют поставщикам, исследовательским группам и консорциумам.

Экстраполяция Результатов для Разрешать Проблемы

  • Модель PROLITH 11 можно использовать для того чтобы исследовать:
  • Новые конструкции маски
  • Новые фоторезисты
  • Различные установки блока развертки
  • Различные параметры процесса

Комплементарные Имитаторы Полн-Обломока
Комплементарные имитаторы полн-обломока, которые конструированы для того чтобы оптимизировать весь обломок в меньш чем 24 часах, PROLITH моделируют малую зону плашки в детальном описании в немного минут. Пока результаты имитаторов полн-обломока применяются до один комплект конструкции и отростчатых условий, результаты PROLITH можно экстраполировать значительно от условий под которыми модель была произведена, так, что различные разрешения можно исследовать. Результаты PROLITH можно использовать для того чтобы определить оптимальные условия под которыми имитаторы полн-обломока работаются.

Last Update: 14. January 2012 23:33

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit