Halvleder udstyrsleverandøren Tegal Corporation og CIMAC, en førende software service leverandør af løsninger, meddelte i dag, at de har indgået et partnerskab for at skabe bedre operativsystemer og brugergrænseflader til Tegal AMS PVD tynd film deposition systemer.
Den Tegal AMS PVD systemer levere branchens førende ydeevne for reaktive spruttende af aluminium nitrid (ALN) film bruges til at fremstille piezoelektriske enheder som Funktionsovervågning og FBAR filtre til mobiltelefonen håndsæt marked. AMS-platformen er en af Tegal seneste produkttilbud til deponering og ætsning materialer afgørende for MEMS enhed, udvikling og kommerciel fremstilling. CIMAC leverer software udvikling for værktøjet operativsystemet, den grafiske brugergrænseflade, og sek / GEM kommunikation.
Cluster Tool Forbedringer
CIMAC har også været at udvikle software forbedringer for Tegal nuværende generation Endeavor linje af PVD-klynge værktøjer. Disse forbedringer omfatter udvikling og implementering af forbedrede sek / GEM kommunikation, og også software opgraderinger til styring af værktøjet effektivitet og kapacitet, som skabes, når en anden vakuum belastning lås er tilføjet til systemet.
"Vores partnerskab med CIMAC har været både omkostningseffektiv og effektiv," siger Jim Apffel, ingeniør direktør i Tegal. "Vi har været i stand til at sætte vores indsats mod vores kernekompetencer PVD klynge værktøjer og lad CIMAC forbedre produktlinier med deres ekspertise inden for software."
"Dette er et perfekt eksempel på vores tillægstjeneste," kommenterede Yezala Abayneh, President & CEO for CIMAC. "I over 10 år har vi været partner med leverandører af udstyr til at øge produktiviteten i deres nuværende generation af værktøjer og til at markedsføre nye værktøjer med state-of-the-art software kapaciteter."