Halbleiterausrüster Tegal Corporation und CIMAC, ein führender Software-Service-Lösungsanbieter, heute angekündigt, dass sie an einer Partnerschaft teilgenommen haben, um zu erstellen, erhöhte Betriebssysteme und Benutzerschnittstellen für Dünnfilm-Absetzungsanlagen Tegal AMS PVD.
Die Anlagen Tegal AMS PVD stellen Industrie-führende Leistung für das reagierende Spritzen von den Filmen des Aluminium-Nitrids (AlN) zur Verfügung, die verwendet werden, um piezoelektrische Einheiten wie BAW- und FBAR-Filter für den Handyhörermarkt zu fabrizieren. Die AMS-Plattform ist eins von Tegals neuesten Produktangeboten für das Abgeben und die Ätzung von den Materialien, die zur MEMS-Einheitsentwicklung und zur Handelsherstellung wesentlich sind. CIMAC stellt Softwareentwicklung für das Betriebssystem Hilfsmittel, die GUI-Benutzerschnittstelle und SECS-/GEMnachrichtenübermittlung zur Verfügung.
Cluster Hilfsmittel-Verbesserungen
CIMAC hat auch Software-Verbesserungen für Tegals aktuelle Generation Bemühungszeile von PVD-Clusterhilfsmitteln entwickelt. Diese Verbesserungen umfassen die Entwicklung und das Ausfahren verbesserter SECS-/GEMnachrichtenübermittlung, und auch Software-Upgrade für die Leitung des Hilfsmittel-Leistungsfähigkeits- und -durchsatznutzens erstellten, wann eine zweite Vakuumschleuse der Anlage hinzugefügt wird.
„Unsere Partnerschaft mit CIMAC ist kosteneffektiv und,“ kommentierter Jim Apffel effizient gewesen und Direktor bei Tegal ausgeführt. „Wir sind in der Lage gewesen, unsere Bemühungen in Richtung zu unseren Kernkompetenzen von PVD-Clusterhilfsmitteln zu setzen und CIMAC die Produktlinien mit ihrer Sachkenntnis in der Software erhöhen ließen.“
„Dieses ist ein perfektes Beispiel unseres Mehrwertdiensts,“ kommentiertes Yezala Abayneh, Präsident u. CEO von CIMAC. „Für über 10 Jahre haben wir uns mit Ausrüstern, um die Produktivität ihrer aktuellen Generationshilfsmittel zu erhöhen zusammengetan und zu holen, um neue Hilfsmittel mit hochmodernen Software-Fähigkeiten zu vermarkten.“