Semiconductor équipementier Tegal Corporation et CIMAC, un service de premier fournisseur de solutions logicielles, ont annoncé aujourd'hui qu'elles ont conclu un partenariat pour créer des systèmes d'exploitation et des interfaces utilisateur pour Tegal AMS PVD minces systèmes de dépôt de films.
Le Tegal AMS systèmes PVD offrir des performances de pointe pour la pulvérisation réactive du nitrure d'aluminium (AIN) Les films utilisés pour fabriquer des dispositifs piézo-électriques tels que des filtres BAW et FBAR pour le marché des combinés de téléphone cellulaire. La plate-forme AMS est l'une des offres Tegal de produits la plus récente pour le dépôt et la gravure des matériaux essentiels pour le développement et la fabrication de MEMS commerciaux. CIMAC assure le développement de logiciels pour le système d'exploitation d'outils, l'interface utilisateur graphique, et SECS / GEM communications.
Améliorations des outils de Cluster
CIMAC a également été le développement d'améliorations des logiciels pour Tegal la ligne de génération actuelle des outils Endeavor pôle PVD. Ces améliorations comprennent le développement et le déploiement de l'amélioration SECS / GEM communications, et aussi les mises à niveau logicielles pour la gestion de l'efficacité de l'outil et les avantages créé lorsque le débit d'une serrure à vide seconde charge est ajouté au système.
«Notre partenariat avec la CIMAC a été à la fois rentable et efficace», a commenté Jim Apffel, directeur technique chez Tegal. «Nous avons été capables de mettre nos efforts vers nos compétences de base des outils de grappes PVD et laissez CIMAC améliorer les lignes de produits avec leur expertise dans les logiciels."
"Ceci est un exemple parfait de notre service à valeur ajoutée», a commenté Yezala Abayneh, Président & CEO de CIMAC. "Depuis plus de 10 ans, nous avons été en partenariat avec les fournisseurs d'équipements pour améliorer la productivité de leurs outils de génération actuelle et de mettre en marché de nouveaux outils avec l'état de l'art les capacités du logiciel."