半導体機器サプライヤーテガル株式会社とCIMAC、主要なソフトウェアサービスのソリューションプロバイダが、彼 らはテガルAMS PVD薄膜の成膜装置のために拡張されたオペレーティングシステムとユーザーインターフェイスを作成するためのパートナーシップを締結したことを発表しました。
テガルAMSのPVDシステムは、携帯電話端末市場向けのBAWとFBARフィルタなどの圧電デバイスを作製するために使用される窒化アルミニウム（AlN）薄膜の反応性スパッタリングのための業界最先端の性能を提供します。 AMSのプラットフォームは、MEMSデバイスの開発と商業生産に不可欠な材料を堆積し、エッチングのためのテガルの最新の製品群の一つです。 CIMACは、ツール、オペレーティングシステム、GUIのユーザーインターフェース、およびSECS / GEM通信用のソフトウェア開発を提供しています。
クラスタツールの拡張
CIMACはまた、PVDのクラスタツールのテガルの現在の世代のエンデバーのラインのためのソフトウェアの拡張機能を開発してきました。これらの機能強化により、開発と展開が改善SECS / GEM通信の、そしてまた第二の真空ロードロックがシステムに追加されたときに作成したツールの効率性とスループットの利点を管理するためのソフトウェアアップグレードが含まれています。
"CIMACとのパートナーシップは、費用対効果と効率の両方されている、"ジムApffel、テガルのエンジニアリングディレクターは述べています。 "我々は、PVDのクラスタツールの我々のコアコンピタンスに向けて努力を入れて、CIMACは、ソフトウェアの専門知識と製品ラインを強化できるようにすることができました。"
"これは私たちの付加価値サービスの完璧な例である、"Yezala Abayneh、CIMACの社長兼CEOはコメントしています。 "10年以上にわたり、我々は彼らの現在の世代のツールの生産性を向上させると最先端のソフトウェア機能を持つ新しいツールを市場に投入する機器サプライヤーと提携している。"