Halfgeleider leverancier van de apparatuur Tegal Corporation en CIMAC, een toonaangevende software service oplossingen, kondigde vandaag aan dat ze een partnerschap aangegaan tot een betere besturingssystemen en user interfaces voor Tegal AMS PVD dunne laag depositie systemen te creëren.
De Tegal AMS PVD-systemen bieden toonaangevende prestaties voor het reactief sputteren van aluminium nitride (ALN) films gebruikt om de piëzo-elektrische apparaten zoals BAW en FBAR filters voor de mobiele telefoon handset markt fabriceren. De AMS-platform is een van de meest recente product Tegal het aanbod voor het storten en etsen materialen van vitaal belang voor MEMS apparaat ontwikkeling en commerciële productie. CIMAC levert software-ontwikkeling voor het gereedschap besturingssysteem, de GUI gebruikersinterface, en SEC / GEM communicatie.
Cluster Tool Verbeteringen
CIMAC is ook het ontwikkelen van software-uitbreidingen voor de huidige generatie Endeavor Tegal de lijn van de PVD cluster tools. Deze verbeteringen omvatten de ontwikkeling en implementatie van een verbeterde SEC / GEM communicatie, en ook software-upgrades voor het beheer van het gereedschap efficiëntie en de doorvoer voordelen ontstaan wanneer een tweede vacuüm load lock wordt toegevoegd aan het systeem.
"Ons partnerschap met CIMAC is zowel de kosten-effectief en efficiënt", aldus Jim Apffel, engineering director bij Tegal. "We zijn in staat geweest om onze inspanningen te zetten in de richting van onze kerncompetenties van PVD cluster tools en CIMAC verbeteren van de productlijnen met hun expertise in software te laten."
"Dit is een perfect voorbeeld van onze dienst met toegevoegde waarde", aldus Yezala Abayneh, President & CEO van CIMAC. "Al meer dan 10 jaar hebben wij samen met leveranciers van apparatuur om de productiviteit van hun huidige generatie tools te verbeteren en te brengen naar nieuwe tools markt met state-of-the-art software mogelijkheden."