半導體設備供應商 Tegal Corporation 和 CIMAC，主導的軟件服務解決方法提供者，今天宣佈他們加入合夥企業創建提高了操作系統和用戶接口 Tegal AMS PVD 薄膜證言系統的。
Tegal AMS PVD 系統為易反應飛濺用於的氮化鋁 (AlN) 影片提供領先業界的性能製造壓電設備例如移動電話手機市場的 BAW 和 FBAR 補白。 AMS 平臺是其中一個存款和銘刻的材料 Tegal 的最近產品供應重要對 MEMS 設備發展和商業製造。 CIMAC 為操作系統的工具， GUI 用戶接口和 SECS/GEM 通信提供軟件開發。
字符串工具改進
CIMAC 也開發 PVD 字符串工具 Tegal 的當前生成努力線路的軟件提高。 這些改進包括被改進的 SECS/GEM 通信的發展和配置，並且管理的工具效率和處理量福利軟件升級創建了第二真空負荷鎖定什麼時候被添加到這個系統。
「我們的與 CIMAC 的合夥企業是有效和高效的」，被評論的吉姆 Apffel，設計主任在 Tegal。 「我們能放置我們的工作成績往 PVD 字符串工具我們的領導能力并且讓 CIMAC 提高產品線以他們的在軟件上的專門技術」。
「這是我們的增值業務的一個理想的示例」，被評論的 Yezala Abayneh， CIMAC 的總統 & CEO。 「10 年我們與設備供應商成為夥伴提高他們的當前生成工具生產率和帶來銷售新工具以科技目前進步水平軟件功能」。