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KLA-Tencor Introduce el Nuevo Sistema de Inspección del Monitor-Fulminante para el Mercado de IC

Published on September 5, 2008 at 10:33 AM

Hoy, KLA-Tencor Corporation introdujo el Surfscan SP2XP, un nuevo sistema de inspección del monitor-fulminante para el mercado del circuito integrado (IC) que construye sobre el éxito de su herramienta de la hermana con el mismo nombre, introducido el año pasado para el mercado de la fabricación del fulminante. Las nuevas características de Surfscan SP2XP mejoraron sensibilidad a los defectos en las películas del silicio, polivinílicas y del metal y aumentaron capacidad de clasificación defectos por el tipo y la talla, comparados con su precursor, el Surfscan industria-de cabeza SP2. También ofrece la manipulación del vacío y la producción de la mejor-en-clase. Estas capacidades son diseñadas para permitir a los fabricantes de chips traer sus dispositivos marginales para comercializar más rápidamente entregando la herramienta de proceso superior que vigila en el fabuloso. El nuevo sistema también introduce un modo operatorio de la sensibilidad ultraalta para acelerar el revelado de los fabs de los dispositivos de la siguiente-generación 3Xnm y 2Xnm.

Los “Fabricantes de dispositivos del alto rendimiento están viendo la complejidad del aumento de proceso de viruta-fabricación a la vez que las ventanas del mercado para estos dispositivos están apretando,” Mike observado Kirk, vicepresidente y director general del Grupo del Examen del Fulminante en KLA-Tencor. “El sistema de Surfscan SP2XP dirige la necesidad de señalar rápidamente las herramientas por medio de una bandera de proceso que están generando defectivity excesivo, para poder corregir el problema con la chatarra mínima del fulminante, para rendir retraso de la baja y del mercado. Nuestra nueva herramienta dirige este reto, no sólo a través de adelantos en sensibilidad y la producción, pero también introduciendo la capacidad para distinguir partículas de microscratches y residuos sin la necesidad de disparar recursos en la revista de SEM. Creemos que la voluntad de Surfscan SP2XP ayuda a fabs para acelerar la producción de sus dispositivos marginales.”

las mejorías del tratamiento Opto-Mecánico y de señales se diseñan para asegurar captura incluso de los defectos más pequeños en los fulminantes descubiertos, así como las películas frontales y finales. La configuración de varios canales Única, patentada y los algoritmos innovadores permiten al sistema de Surfscan SP2XP distinguir automáticamente tipos del defecto. La herramienta también entrega la producción superior a la de la anterior-generación, Surfscan industria-de cabeza SP2, permitiendo a fabs revisar más fulminantes por hora o utilizar una configuración más alta de la sensibilidad sin la baja de la producción. El Surfscan SP2XP mantiene la reputación de la plataforma para corresponder con de la confiabilidad, de la facilidad de empleo y de sistema.

El Gran interés en el sistema de Surfscan SP2XP ha dado lugar a varias órdenes de fabricantes de equipamiento fabulosos así como a fabs de cabeza de la lógica y de la memoria en Asia, los Estados Unidos y Europa. El desbloquear De enero de 2007 de la versión de borde-manipulación del sistema de Surfscan SP2XP, para el mercado de la fabricación del fulminante, ha ganado rápidamente acceptación en el mercado amplia, con las instalaciones de sistemas múltiples en cada fabricante de cabeza del fulminante.

RESUMEN DE LA TECNOLOGÍA

Las Mejorías a mecánico, a óptico y a señal-tramitar subsistemas permiten al sistema de inspección del monitor-fulminante de Surfscan SP2XP entregar varias ventajas sobre su precursor, el Surfscan industria-de cabeza SP2. Éstos incluyen:

  • El Hasta 36 por ciento de alza de la producción resultando de una combinación de cambios en opto-mecánicos, electrónica y software
  • Configuración de varios canales Única, patentada que permite al sistema de Surfscan SP2XP distinguir automáticamente partículas de microscratches, de claros, de filigranas y de otros residuos
  • La introducción de modo Ultraalto de la Sensibilidad, permitiendo que el sistema de Surfscan SP2XP sea utilizado para el revelado de las virutas de la siguiente-generación
  • Una innovación opta-mechnical que aumenta la sensibilidad de la herramienta a los defectos en las películas ásperas tales como polisilicona, tungsteno y cobre. Así como la sensibilidad de la prueba patrón de la plataforma en las películas lisas, la nueva capacidad permite que la plataforma de Surfscan SP2XP sea utilizada en el fabuloso, de tal modo rindiendo mejorías potenciales a la eficacia operativa fab
  • Un nuevo canal diferenciado del contraste (DIC) de la interferencia que activa captura del defecto-de-interés bajo, plano y débil tal como residuos o topetón-todo cuyo puede dar lugar a incidente del dispositivo, determinado para los dispositivos avanzados
  • Capacidad Nuevamente ampliada del apresto del defecto, entregando la exactitud binning mejorada del defecto para una identificación más rápida de la fuente del defecto

Last Update: 17. January 2012 07:38

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