KLA-Tencor Introduit le Système de Contrôle Neuf de Moniteur-Disque pour le Marché d'IC

Published on September 5, 2008 at 10:33 AM

Aujourd'hui, KLA-Tencor Corporation a introduit le Surfscan SP2XP, un système de contrôle neuf de moniteur-disque pour le marché de circuit intégré (IC) qui établit sur la réussite de son outil de soeur avec le même nom, introduit l'année dernière pour le marché de fabrication de disque. La sensibilité améliorée par caractéristiques techniques neuves de Surfscan SP2XP aux défauts sur le silicium, films les poly et en métal et la capacité améliorée de trier des défauts par le type et la taille, avec son prédécesseur, le leader Surfscan SP2. Il comporte également traiter d'aspirateur et débit classe meilleure. Ces capacités sont conçues pour permettre à des fabricants de circuits intégrés de porter leurs dispositifs de pointe pour lancer sur le marché plus rapidement en livrant l'outil de processus supérieur surveillant dans tous l'ouvrier. Le système neuf introduit également un mode opérationnel ultra-haut de sensibilité pour accélérer le développement des fabs des dispositifs 3Xnm et 2Xnm de la deuxième génération.

Les « Constructeurs des dispositifs de haute performance voient la complexité de l'augmentation de processus puce-effectuante pendant que les hublots du marché pour ces dispositifs serrent, » Mike Kirk, vice président et directeur général observé du Groupe d'Inspection de Disque chez KLA-Tencor. « Le système de Surfscan SP2XP satisfait la nécessité de marquer rapidement les outils de processus qui produisent du defectivity excessif, de sorte que le problème puisse être rectifié avec le rebut minimal de disque, pour fournir le délai de perte et de marché. Notre outil neuf relève ce défi, non seulement par des avancements dans la sensibilité et le débit, mais également en introduisant la capacité pour discerner des particules des microscratches et des résidus sans nécessité de dépenser des moyens sur la révision de SEM. Nous croyons que la volonté de Surfscan SP2XP aident des fabs pour accélérer la production de leurs dispositifs de pointe. »

des améliorations Opto-Mécaniques et de traitement du signal sont conçues pour assurer la capture même des plus petits défauts sur les disques nus, ainsi que les films frontaux et principaux. La Seule, brevetée architecture multivoie et les algorithmes novateurs permettent au système de Surfscan SP2XP de différencier automatiquement des types de défaut. L'outil fournit également le débit supérieur à celui du précédent-rétablissement, leader Surfscan SP2, permettant à des fabs d'examiner plus de disques par heure ou d'utiliser une configuration plus élevée de sensibilité sans perte de débit. Le Surfscan SP2XP confirme la réputation de la plate-forme pour apparier de fiabilité, de facilité d'utilisation et de système.

L'Intérêt prononcé dans le système de Surfscan SP2XP a résulté en plusieurs commandes des fabriquants d'équipement ouvriers ainsi que principaux fabs de logique et de mémoire en Asie, aux Etats-Unis et Europe. La release de Janvier 2007 de la version arête-traitante du système de Surfscan SP2XP, pour le marché de fabrication de disque, a rapidement gagné l'acceptation sur le marché grande, avec des installations des systèmes multiples à chaque principal constructeur de disque.

RÉSUMÉ DE TECHNOLOGIE

Les Améliorations aux sous-systèmes mécaniques, optiques et de traitement du signal permettent au système de contrôle de moniteur-disque de Surfscan SP2XP de fournir plusieurs avantages par rapport à son prédécesseur, le leader Surfscan SP2. Celles-ci comprennent :

  • Jusqu'à 36 pour cent de poussée de débit résultant d'une combinaison des changements des opto-mécaniciens, de l'électronique et du logiciel
  • Seule, brevetée architecture multivoie qui permet au système de Surfscan SP2XP de discerner automatiquement des particules des microscratches, des vides, des filigranes et d'autres résidus
  • L'introduction du mode Ultra-haut de Sensibilité, permettant au système de Surfscan SP2XP d'être employé pour le développement des puces de la deuxième génération
  • Une innovation opto-mechnical qui augmente la sensibilité de l'outil aux défauts sur les films bruts tels que le polysilicium, le tungstène et le cuivre. En même temps que la sensibilité du benchmark de la plate-forme sur les films lisses, la capacité neuve permet à la plate-forme de Surfscan SP2XP d'être utilisée dans tous l'ouvrier, fournissant de ce fait des améliorations potentielles à l'efficacité de l'exploitation fab
  • Un tunnel différentiel neuf de contraste (DIC) d'interférence qui active la capture du défaut-de-intérêt peu profond, plat et faible tel que des résidus ou mémoire-tout dont peut avoir comme conséquence la défaillance de dispositif, en particulier pour les dispositifs avancés
  • Capacité Neuf étendue de calibrage de défaut, fournissant l'exactitude binning améliorée de défaut pour une identification plus rapide de la source de défaut

Last Update: 17. January 2012 08:33

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