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KLA-Tencor Introduz o Sistema de Inspecção Novo da Monitor-Bolacha para o Mercado do IC

Published on September 5, 2008 at 10:33 AM

Hoje, KLA-Tencor Corporation introduziu o Surfscan SP2XP, um sistema de inspecção novo da monitor-bolacha para o mercado do circuito integrado (IC) que constrói em cima do sucesso de sua ferramenta da irmã com o mesmo nome, introduzido no ano passado para o mercado da fabricação da bolacha. As características novas de Surfscan SP2XP melhoraram a sensibilidade aos defeitos em filmes do silicone, os polis e do metal e aumentaram a capacidade para classificar defeitos pelo tipo e pelo tamanho, comparados com seu antecessor, o Surfscan líder de mercado SP2. Igualmente caracteriza a manipulação do vácuo e a produção da melhor-em-classe. Estas capacidades são projectadas permitir fabricantes de chips de trazer seus dispositivos da vanguarda para introduzir no mercado mais rapidamente entregando a ferramenta superior do processo que monitora durante todo o fabuloso. O sistema novo igualmente introduz um modo de funcionamento ultra-alto da sensibilidade para acelerar a revelação dos fabs de dispositivos da próxima geração 3Xnm e 2Xnm.

Os “Fabricantes de dispositivos do elevado desempenho estão vendo a complexidade do aumento defactura do processo ao mesmo tempo que os indicadores do mercado para estes dispositivos estão apertando,” Mike observado Kirk, vice-presidente e director geral do Grupo da Inspecção da Bolacha em KLA-Tencor. “O sistema de Surfscan SP2XP endereça a necessidade de embandeirar rapidamente as ferramentas do processo que estão gerando o defectivity excessivo, de modo que o problema possa ser corrigido com sucata mínima da bolacha, para render o atraso da perda e do mercado. Nossa nova ferramenta endereça este desafio, não somente através dos avanços na sensibilidade e na produção, mas igualmente introduzindo a capacidade para distinguir partículas dos microscratches e resíduos sem a necessidade de gastar recursos na revisão de SEM. Nós acreditamos que a vontade de Surfscan SP2XP ajuda fabs a acelerar a produção de seus dispositivos da vanguarda.”

as melhorias Opto-Mecânico e do tratamento dos sinais são projectadas assegurar a captação mesmo dos defeitos os menores em bolachas desencapadas, assim como em filmes da parte frontal e da parte posterior. A arquitetura Original, patenteada do multi-canal e os algoritmos inovativos permitem o sistema de Surfscan SP2XP de diferenciar automaticamente tipos do defeito. A ferramenta igualmente entrega a produção superior àquela da precedente-geração, Surfscan líder de mercado SP2, permitindo fabs de inspeccionar mais bolachas pela hora ou de usar um ajuste mais alto da sensibilidade sem perda de produção. O Surfscan SP2XP confirma a reputação da plataforma para a harmonização da confiança, da acessibilidade e de sistema.

O Grande interesse no sistema de Surfscan SP2XP conduziu a diversos pedidos dos fabricantes de equipamento fabulosos assim como aos fabs principais da lógica e da memória em Ásia, nos Estados Unidos e em Europa. A liberação De janeiro de 2007 da versão demanipulação do sistema de Surfscan SP2XP, para o mercado da fabricação da bolacha, ganhou ràpida a aceitação larga do mercado, com as instalações de sistemas múltiplos em cada fabricante principal da bolacha.

SUMÁRIO DA TECNOLOGIA

As Melhorias a mecânico, a óptico e a sinal-processar subsistemas permitem o sistema de inspecção da monitor-bolacha de Surfscan SP2XP de entregar diversas vantagens sobre seu antecessor, o Surfscan líder de mercado SP2. Estes incluem:

  • Até 36 por cento de impulso da produção resultando de uma combinação de mudanças nos opto-mecânicos, na eletrônica e no software
  • Arquitetura Original, patenteada do multi-canal que permite o sistema de Surfscan SP2XP de distinguir automaticamente partículas dos microscratches, dos vácuos, das filigranas e dos outros resíduos
  • A introdução de modo Ultra-Alto da Sensibilidade, permitindo que o sistema de Surfscan SP2XP seja utilizado para a revelação de microplaquetas da próxima geração
  • Uma inovação opto-mechnical que aumente a sensibilidade da ferramenta aos defeitos em filmes ásperos tais como o polysilicon, o tungstênio e o cobre. Junto com a sensibilidade da marca de nível da plataforma em filmes lisos, a capacidade nova permite que a plataforma de Surfscan SP2XP seja usada durante todo o fabuloso, desse modo rendendo melhorias potenciais à eficiência de funcionamento fab
  • Um canal diferencial novo do contraste (DIC) da interferência que permita a captação do defeito--interesse raso, liso e fraco tal como resíduos ou colisão-todo de que pode conduzir à falha do dispositivo, particularmente para dispositivos avançados
  • Capacidade Recentemente estendida da cola do defeito, entregando a precisão binning melhorada do defeito para a identificação mais rápida da fonte do defeito

Last Update: 14. January 2012 17:23

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