KLA-Tencor Вводит Новую Систему Контроля Монитор-Вафли для Рынка IC

Published on September 5, 2008 at 10:33 AM

Сегодня, KLA-Tencor Корпорация ввело Surfscan SP2XP, новую систему контроля монитор-вафли для рынка интегральной схемаы (IC) который строит на успехе своего инструмента сестры с таким же именем, введенного в прошлом году для рынка изготавливания вафли. Новые характеристики Surfscan SP2XP улучшили чувствительность к дефектам на фильмах кремния, поли и металла и увеличили способность сортировать дефекты типом и размером, сравненными с своей предшественницей, ведущее в отрасли Surfscan SP2. Оно также отличает регулировать вакуума и объём лучш-в-типа. Эти возможности конструированы для того чтобы позволить чипмейкеры принести их приборы ведущей кромки для того чтобы выйти на рынок более быстро путем поставлять главный отростчатый инструмент контролируя в течении сказочного. Новая система также вводит ультравысокий работающий режим чувствительности для ускорения развития fabs приборов следующего поколени 3Xnm и 2Xnm.

«Изготовления приборов высокой эффективности видят сложность обломок-делая отростчатого увеличения в то же самое время, что окна рынка для этих приборов затягивают,» наблюдаемая Кирка Майк, недостаток - президент и генеральный директор Группы Осмотра Вафли на KLA-Tencor. «Система Surfscan SP2XP адресует потребность быстро flag отростчатые инструменты которые производят чрезмерно defectivity, так, что проблему можно исправиться с минимальным утилем вафли, для того чтобы произвести задержку потери и рынка. Наш новый инструмент адресует эту возможность, не только через выдвижения в чувствительности и объём, но также путем вводить возможность для того чтобы различить частицы от microscratches и выпарки без потребности использовать ресурсы на просмотрении SEM. Мы верим что воля Surfscan SP2XP помогает fabs для ускорения продукции их приборов ведущей кромки.»

улучшения Opto-Механически и обработки сигнала конструированы для того чтобы обеспечить захват даже самых малых дефектов на чуть-чуть вафлях, так же, как фильмах начала и конечного. Уникально, запатентованное зодчество multi-канала и новаторские алгоритмы позволяют система Surfscan SP2XP автоматически продифференцировать типы дефекта. Инструмент также поставляет главное объём к тому из предыдущ-поколения, ведущий в отрасли Surfscan SP2, позволяющ fabs проверить больше вафель в час или использовать более высокую установку чувствительности без потери объём. Surfscan SP2XP поддерживает репутацию платформы для надежности, легкия в использовании и соответствовать системы.

Большой интерес в системе Surfscan SP2XP приводил к в нескольких заказов от сказочных изготовителей оборудования так же, как ведущих fabs логики и памяти в Азии, Соединенные Штаты и Европе. Отпуск Января 2007 кра-регулируя версии системы Surfscan SP2XP, для рынка изготавливания вафли, быстро приобретал обширное признание рынка, с установками многоэлементных систем на каждый ведущий завод вафли.

СВОДКА ТЕХНОЛОГИИ

Улучшения к подсистемам механически, оптически и обработки сигнала позволяют система контроля монитор-вафли Surfscan SP2XP поставить несколько преимуществ над своей предшественницей, ведущий в отрасли Surfscan SP2. Эти включают:

  • До 36 процентов подталкивания объём приводя к от сочетание из изменяет в opto-механиках, электронике и ПО
  • Уникально, запатентованное зодчество multi-канала которое позволяет система Surfscan SP2XP автоматически различить частицы от microscratches, свободных пространств, водяных знаков и других выпарок
  • Введение Ультравысокого режима Чувствительности, позволяя системе Surfscan SP2XP быть использованным для развития следующего поколени откалывает
  • Opto-mechnical рационализаторство которое увеличивает чувствительность инструмента к дефектам на грубых фильмах как polysilicon, вольфрам и медь. Вместе с чувствительностью отметки уровня платформы на ровных фильмах, новая возможность позволяет платформе Surfscan SP2XP быть использованным в течении сказочного, таким образом производящ потенциальные улучшения к fab эффективности operating
  • Новый дифференциальный канал контраста (DIC) взаимодействия который включает захват отмелого, плоского и слабого дефект--интереса как выпарки или рему-вс чего смогите привести к в отказе прибора, в частности для предварительных приборов
  • Заново расширенная возможность загрунтовкы дефекта, поставляя улучшенную точность дефекта binning для более быстрого идентификации источника дефекта

Last Update: 14. January 2012 21:11

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit